[发明专利]一种低压控制晶硅片磷扩散系统

摘要

一种低压控制晶硅片磷扩散系统，本发明涉及太阳能电池板技术领域；它包含石英扩散管、真空泵、尾气管、压力传感器、进气管、控制阀门；所述的真空泵通过管道与石英扩散管的尾气管连接，连接管道上设有压力传感器和控制阀门；所述的进气管连接在石英扩散管上。能够控制电池片的方块电阻的稳定性和单片的均匀性，提升制程控制水平；由于采用了低压扩散的方式，可以大幅度的降低扩散使用磷源，从而降低生产成本，更好的满足不同客户的需求，实用性更强。

主权项

1.一种低压控制晶硅片磷扩散系统，其特征在于：它包含石英扩散管、真空泵、尾气管、压力传感器、进气管、控制阀门；所述的真空泵通过管道与石英扩散管的尾气管连接，连接管道上设有压力传感器和控制阀门；所述的进气管连接在石英扩散管上。