[发明专利]一种抛光液及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201711103154.3 申请日: 2017-11-10
公开(公告)号: CN107936849B 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 金炳生;高小云;刘兵 申请(专利权)人: 苏州晶瑞化学股份有限公司
主分类号: C09G1/04 分类号: C09G1/04
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 汪青
地址: 215214 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种抛光液及其制备方法和应用,以质量百分含量计,抛光液由以下组分组成:无机碱性化合物1~20%,添加剂0.1~1%,余量为去离子水;添加剂由以下组分组成:异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.01~0.5%,烷基多糖苷0.5~5%,余量为去离子水;制备方法:1)按照添加剂中各组分的质量占比称取各组分,然后将各组分相混合,即得添加剂;2)按照抛光液中各组分的质量占比称取各原料,先将无机碱性化合物加入去离子水中,然后再与步骤(1)制备的添加剂相混合,即得抛光液;应用:抛光液在金刚线切割多晶硅片后抛光过程中的应用;本发明的抛光液具有使被处理后的多晶硅减薄量极少,还能间接地提升光电转化率。
搜索关键词: 一种 抛光 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
一种抛光液,用于金刚线切割多晶硅后的抛光处理,其特征在于,以质量百分含量计,所述抛光液由以下组分组成:无机碱性化合物1~20%,添加剂0.1~1%,余量为去离子水;其中,以质量百分含量计,所述添加剂由以下组分组成:异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.01~0.5%,烷基多糖苷0.5~5%,余量为去离子水。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州晶瑞化学股份有限公司,未经苏州晶瑞化学股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201711103154.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top