[发明专利]一种抛光液及其制备方法和应用有效
申请号: | 201711103154.3 | 申请日: | 2017-11-10 |
公开(公告)号: | CN107936849B | 公开(公告)日: | 2020-09-15 |
发明(设计)人: | 金炳生;高小云;刘兵 | 申请(专利权)人: | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
主分类号: | C09G1/04 | 分类号: | C09G1/04 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 汪青 |
地址: | 215214 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种抛光液及其制备方法和应用,以质量百分含量计,抛光液由以下组分组成:无机碱性化合物1~20%,添加剂0.1~1%,余量为去离子水;添加剂由以下组分组成:异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.01~0.5%,烷基多糖苷0.5~5%,余量为去离子水;制备方法:1)按照添加剂中各组分的质量占比称取各组分,然后将各组分相混合,即得添加剂;2)按照抛光液中各组分的质量占比称取各原料,先将无机碱性化合物加入去离子水中,然后再与步骤(1)制备的添加剂相混合,即得抛光液;应用:抛光液在金刚线切割多晶硅片后抛光过程中的应用;本发明的抛光液具有使被处理后的多晶硅减薄量极少,还能间接地提升光电转化率。 | ||
搜索关键词: | 一种 抛光 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种抛光液,用于金刚线切割多晶硅后的抛光处理,其特征在于,以质量百分含量计,所述抛光液由以下组分组成:无机碱性化合物1~20%,添加剂0.1~1%,余量为去离子水;其中,以质量百分含量计,所述添加剂由以下组分组成:异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯0.01~0.5%,烷基多糖苷0.5~5%,余量为去离子水。
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