[发明专利]一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置在审
| 申请号： | 201711031323.7 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN108459470A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 刘炫烨 | 申请（专利权）人： | 无锡源代码科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻机技术领域，尤其为一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，包括主体箱与控制面板，所述主体箱的下端外侧设有防震垫，所述主体箱的上端外侧设有激光传感器与观察窗，且送片台的上端外表面活动安装有传送带，所述主体箱的内部设有传动轮与硅片盒，所述传动轮的水平一侧固定安装有双压伺服电机。本发明所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，设有激光传感器、观察窗和双压伺服电机，能够给与警示，减少了硅片插装的误差，并能提高传送速度，根据光刻速度的快慢进行调整，保持光刻和送片的统一性，还能解决硅片被卡住的问题，适用不同工作状况，带来更好的使用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 光刻机 主体箱 插装 取片装置 激光传感器 伺服电机 传动轮 观察窗 光刻 双压 上端外表面 传送带 工作状况 活动安装 控制面板 防震垫 硅片盒 送片台 上端 警示 送片 下端 卡住 传送 | ||
【主权项】：
1.一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，包括主体箱(1)与控制面板(12)，其特征在于：所述主体箱(1)的下端外侧设有防震垫(2)，所述主体箱(1)的上端外侧设有激光传感器(3)与观察窗(4)，且激光传感器(3)固定安装在观察窗(4)的水平一侧，所述激光传感器(3)的内部固定安装有红外发光管(5)与接收器(6)，所述激光传感器(3)的下端外侧穿过主体箱(1)的内表面固定安装有传感杆(7)，所述激光传感器(3)的上端外表面靠近接收器(6)的一侧设有闪光灯头(8)，所述主体箱(1)的一端外侧穿过主体箱(1)的内部设有送片台(9)，且送片台(9)的上端外表面活动安装有传送带(10)，所述主体箱(1)的外表面靠近传送带(10)的上方设置有升降帘(11)，所述控制面板(12)固定安装在主体箱(1)的一端外表面靠近观察窗(4)的一侧，所述主体箱(1)的内部设有传动轮(13)与硅片盒(14)，所述传动轮(13)的水平一侧固定安装有双压伺服电机(15)，所述硅片盒(14)的上端外侧设有取片结构(16)，且取片结构(16)的水平一端活动安装有升降结构(17)。
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