[发明专利]一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置

权利要求书

1.一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，包括主体箱(1)与控制面板(12)，其特征在于：所述主体箱(1)的下端外侧设有防震垫(2)，所述主体箱(1)的上端外侧设有激光传感器(3)与观察窗(4)，且激光传感器(3)固定安装在观察窗(4)的水平一侧，所述激光传感器(3)的内部固定安装有红外发光管(5)与接收器(6)，所述激光传感器(3)的下端外侧穿过主体箱(1)的内表面固定安装有传感杆(7)，所述激光传感器(3)的上端外表面靠近接收器(6)的一侧设有闪光灯头(8)，所述主体箱(1)的一端外侧穿过主体箱(1)的内部设有送片台(9)，且送片台(9)的上端外表面活动安装有传送带(10)，所述主体箱(1)的外表面靠近传送带(10)的上方设置有升降帘(11)，所述控制面板(12)固定安装在主体箱(1)的一端外表面靠近观察窗(4)的一侧，所述主体箱(1)的内部设有传动轮(13)与硅片盒(14)，所述传动轮(13)的水平一侧固定安装有双压伺服电机(15)，所述硅片盒(14)的上端外侧设有取片结构(16)，且取片结构(16)的水平一端活动安装有升降结构(17)。

2.根据权利要求1所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，其特征在于：所述激光传感器(3)的工作温度范围为20度到85度，且激光传感器(3)的集电流动作电流为1.80ma。

3.根据权利要求1所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，其特征在于：所述观察窗(4)的形状为圆形，所述观察窗(4)的直径为三十厘米。

4.根据权利要求1所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，其特征在于：所述升降帘(11)活动安装在主体箱(1)的外表面靠近传送带(10)的上方，所述控制面板(12)的外表面设置有若干组按钮。

5.根据权利要求1所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，其特征在于：所述传动轮(13)的数量为两组，所述两组传动轮(13)分别为主动轮与从动轮。

6.根据权利要求1所述的一种减少硅片插装误差的光刻机取片装置，其特征在于：所述硅片盒(14)的内部设置有插槽，所述取片结构(16)的下端设置有取片板。