[发明专利]一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法在审

专利信息
申请号: 201711009856.5 申请日: 2017-10-25
公开(公告)号: CN107817256A 公开(公告)日: 2018-03-20
发明(设计)人: 张勇;侯宁;梁斌;胡旷南 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: G01N23/20 分类号: G01N23/20
代理公司: 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 代理人: 岳泉清
地址: 150001 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法,本发明涉及超精密加工亚表面损伤的无损检测方法。本发明的目的是为了解决现有技术主要是基于某一特定的亚表面损伤形式或对某一微小截面区域的亚表面损伤形式进行检测,检测过程往往具有破坏性,其检测结果不能全面准确地反映实际加工过程中光学晶体材料的亚表面损伤形式的问题。过程为一、将被检测光学晶体置于可移动工作台上;二、使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面平行;三、使X射线与晶体表面形成一定夹角;四、得到X射线与晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息;五、重复三、四,完成对光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测。本发明用于无损检测领域。
搜索关键词: 一种 用于 光学 晶体 精密 加工 表面 损伤 无损 检测 方法
【主权项】:
一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法,其特征在于:所述方法具体过程为:步骤一、将被检测光学晶体置于可移动工作台上;步骤二、调整X射线源初始位置,使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面平行,同时使X射线探测器复位到初始位置;步骤三、调整X射线源位置,使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面之间形成一定夹角ω并固定;步骤四、检测:启动X射线探测器沿圆周移动,X射线探测器探测X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面结构发生衍射时的角度位置和衍射X射线的强度,记录并存储,得到夹角ω下X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面损伤层晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息;步骤五、重复步骤三、步骤四得到不同夹角ω下X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面损伤层晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息,记录并存储,完成对光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测。
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  • 陈仁朋;罗宏;洪鹏云;程威;鲁立 - 湖南大学
  • 2016-06-22 - 2019-03-29 - G01N23/20
  • 本发明公开了一种基于时域反射(TDR)技术的非饱和土三轴试样含水量实时测试方法,可用于岩土工程非饱和土三轴试验中试样局部含水量的测试。该方法通过特制的柔性探头水平缠绕安装在三轴试样(10)上,处于三轴试样(10)与橡皮膜(4)之间,通过导线(8)与三轴压力室(7)外的TDR测试仪(9)相连,可在三轴试验过程中随时测试安装部位的含水量,解决了岩土工程非饱和三轴试验过程中无法获取局部位置含水量的问题。
  • 一种合金成分全自动检测装置-201820998265.9
  • 李春江 - 江西宝顺昌特种合金制造有限公司
  • 2018-06-27 - 2019-03-29 - G01N23/20
  • 本实用新型公开了一种合金成分全自动检测装置,包括底座、设备室、载物平台和计算机,设备腔固定安装于底座上,载物平台、计算机和摄像机并列固定安装于设备腔上,载物平台上安装有样品支撑膜和滑轨,滑轨上活动安装有滑盖,计算机侧面安装有显示屏,载物平台侧面安装有电源键和X光管窗口。该设备整机集成,降低了电路干扰;滑动开盖方式,符合人体工程学;偏振二次靶技术可以保证保证待测元素最佳激发状态,并减少散射和干扰,从而大大降低背景,提高测试灵敏度和信噪比;二次滤光技术明显提高了金属样品中管控元素的测试精度;全自动一键操作功能,准直器自动切换,滤光片自动切换,样品测试照片自动拍照、自动保存,测试报告自动显示。
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