[发明专利]基板结构及基板结构的制作方法有效
| 申请号： | 201711008383.7 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107748460B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张志奇;蔡卫星 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333;G02F1/1362 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基板结构及基板结构的制作方法，包括基板与设置在所述基板上的图案化平坦化层，所述图案化平坦化层超出所述基板的图案有效区的至少两个相对侧。本发明的图案化平坦化层超出基板的图案有效区的至少两个相对侧，将图案化平坦化层的高度落差影响区域从图案有效区边缘外移，使得在图案化平坦化层上继续制作其它层结构时，光阻爬坡现象不会在图案有效区边缘出现而造成图案缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 板结 制作方法 | ||
【主权项】：
一种基板结构，包括基板与设置在所述基板上的图案化平坦化层，其特征在于，所述图案化平坦化层超出所述基板的图案有效区的至少两个相对侧。
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