[发明专利]基板结构及基板结构的制作方法

说明书

一种基板结构及基板结构的制作方法，包括基板与设置在所述基板上的图案化平坦化层，所述图案化平坦化层超出所述基板的图案有效区的至少两个相对侧。本发明的图案化平坦化层超出基板的图案有效区的至少两个相对侧，将图案化平坦化层的高度落差影响区域从图案有效区边缘外移，使得在图案化平坦化层上继续制作其它层结构时，光阻爬坡现象不会在图案有效区边缘出现而造成图案缺陷。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是关于一种基板结构及基板结构的制作方法。

背景技术

随着显示技术的发展，液晶显示面板(Liquid Crystal Display，LCD)因其轻便、低辐射等优点越来越受到人们的欢迎。

在液晶显示面板的制作过程中，平坦化工艺是很重要的一个环节，通过平坦化工艺形成平坦化层(OC层)可以减小各层别之间堆叠形成的高度差以便于继续制作图形。如图1所示，在基板11上制作图案时，仅在基板11上的图案有效区16内设有OC层13，由于OC层13的膜厚通常较大，例如为2um，这将在基板11的图案有效区16的边缘形成较大的高度落差，当在OC层13上继续制作其它层结构时，例如刻蚀金属层15时，由于光阻材料具有流动性，在涂布光阻时容易在图案有效区16的边缘出现爬坡现象而未充分覆盖爬坡处的金属层15，如此，后续在对金属层15进行刻蚀时，未被光阻覆盖的那部分金属层15将被蚀刻除去而形成缺失(Un coating)区域151，从而造成金属层图案缺陷，影响产品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板结构及基板结构的制作方法，可避免平坦化层上的其它层结构出现图案缺陷。

本发明提供一种基板结构，包括基板与设置在所述基板上的图案化平坦化层，所述图案化平坦化层超出所述基板的图案有效区的至少两个相对侧，所述图案化平坦化层包括位于图案有效区内的图案部分与位于图案有效区外的条状部分，所述图案部分与所述条状部分之间具有连续的断孔，所述图案有效区包括显示区与位于所述显示区外围的走线区。

进一步地，所述基板与所述图案化平坦化层之间设有第一图案化金属层，所述第一图案化金属层包括位于所述图案有效区内的第一图案部分，所述图案化平坦化层上设有第二图案化金属层，所述第二图案化金属层包括位于所述图案有效区内的第二图案部分。

进一步地，所述图案有效区的至少两个相对侧的其中之一为制作所述第二图案化金属层时涂布光阻的起刀侧。

本发明还提供一种基板结构的制作方法，包括：

提供一基板；

在所述基板上形成形成平坦化层，所述平坦化层超出所述基板的图案有效区的至少两个相对侧，所述图案有效区包括显示区与位于所述显示区外围的走线区；

利用光罩曝光所述平坦化层以形成图案化平坦化层，所述光罩具有与所述图案有效区对应的图案开口以及与所述图案有效区的至少两个相对侧的边缘对应的条形开口。

进一步地，在所述基板上形成图案化平坦化层之前，还包括：

在所述基板上形成第一图案化金属层，所述第一图案化金属层包括位于所述图案有效区内的第一图案部分；

在所述基板上形成图案化平坦化层之后，还包括：

在所述图案化平坦化层上形成第二图案化金属层，所述第二图案化金属层包括位于所述图案有效区内的第二图案部分。

进一步地，所述图案有效区的至少两个相对侧的其中之一为制作所述第二图案化金属层时涂布光阻的起刀侧。

本发明的实施例中，图案化平坦化层超出基板的图案有效区的至少两个相对侧，从而将图案化平坦化层的高度落差影响区域从图案有效区边缘外移，使得在图案化平坦化层上继续制作其它层结构时，光阻爬坡现象不会在图案有效区边缘出现而造成图案缺陷。