[发明专利]一种避免腔体内部生成物堆积的装置在审
| 申请号： | 201710985195.3 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107785222A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 赵兴;詹申申 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种避免腔体内部生成物堆积的装置，包括反应腔体；进气口和出气口，分别设置于所述反应腔体两端；冷却水管道，分别设置于所述进气口和出气口腔体外壁，其中，所述进气口和出气口靠近反应腔体处分别设置有导热片，从而提高该区域的温度，促使清洁气体的清洁效率提升。本发明提出的避免腔体内部生成物堆积的装置，在进气口出气口处放置碳化硅材料的导热片，从而提高该区域的温度，促使氯化氢清洁效率提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 体内 生成物 堆积 装置 | ||
【主权项】：
一种避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，包括：反应腔体；进气口和出气口，分别设置于所述反应腔体两端；冷却水管道，分别设置于所述进气口和出气口腔体外壁，其中，所述进气口和出气口靠近反应腔体处分别设置有导热片，从而提高该区域的温度，促使清洁气体的清洁效率提升。
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