[发明专利]一种避免腔体内部生成物堆积的装置在审
| 申请号： | 201710985195.3 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107785222A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 赵兴;詹申申 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 避免 体内 生成物 堆积 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，包括：
反应腔体；
进气口和出气口，分别设置于所述反应腔体两端；
冷却水管道，分别设置于所述进气口和出气口腔体外壁，
其中，所述进气口和出气口靠近反应腔体处分别设置有导热片，从而提高该区域的温度，促使清洁气体的清洁效率提升。
2.根据权利要求1所述的避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，所述反应腔体为应用材料单晶硅长晶设备反应腔体。
3.根据权利要求1所述的避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，所述清洁气体为氯化氢气体。
4.根据权利要求1所述的避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，所述导热片采用碳化硅材料的导热片。
5.根据权利要求1所述的避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，所述导热片的导热系数为大于等于50W/mK。
6.根据权利要求5所述的避免腔体内部生成物堆积的装置，其特征在于，所述导热片的导热系数为83.6W/mK。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710985195.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种洗衣机及其控制方法
- 下一篇：一种洗衣机进水软管及滚筒洗衣机
