[发明专利]一种立体磨料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201710945470.9 申请日: 2017-10-12
公开(公告)号: CN107553312B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 刘利军;崔福兴 申请(专利权)人: 河北思瑞恩新材料科技有限公司
主分类号: B24B37/14 分类号: B24B37/14;B24B37/16;B24D3/00;B24D3/28;B24D3/34;B24D18/00;C08L75/14;C08L63/00;C08K3/36;C08K3/22;C09K3/14
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 071000 河北省保定市惠阳街*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明提供了一种立体磨料,包括:衬底;复合在所述衬底上的胶层;复合在所述胶层上的基材;复合在所述基材上的底胶层;设置在所述底胶层上的若干磨块,所述相邻磨块之间具有间隙;所述磨块由混合物固化形成,所述混合物包括:20~40wt%的光固化胶黏剂;10~30wt%的热固化胶黏剂;0.1~3wt%的光引发剂;0.1~3wt%的热引发剂;0.1~3wt%的热固化剂;30~70wt%的磨料;1~5wt%的助剂;其中,所述光固化胶黏剂选自聚氨酯丙烯酸树脂;所述热固化胶黏剂选自环氧树脂。本发明还提供了上述立体磨料的制备方法。本发明由聚氨酯丙烯酸树脂和环氧树脂作为胶黏剂制备的立体磨料损耗较慢,使用寿命较长。
搜索关键词: 一种 立体 磨料 及其 制备 方法
【主权项】:
一种立体磨料,其特征在于,包括:衬底;复合在所述衬底上的胶层;复合在所述胶层上的基材;复合在所述基材上的底胶层;设置在所述底胶层上的若干磨块,所述相邻磨块之间具有间隙;所述磨块由混合物固化形成,所述混合物包括:其中,所述光固化胶黏剂选自聚氨酯丙烯酸树脂;所述热固化胶黏剂选自环氧树脂。
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  • 一种CMP抛光垫,该抛光垫包括:(a)具有抛光面和与所述抛光面相对的底面的抛光层;所述抛光层具有至少一个固化的不透明热固性聚氨酯区域和至少一个孔径区域;所述至少一个固化的不透明热固性区域具有从约10%至约55%体积百分比的孔隙率;所述至少一个孔径区域具有(1)定位在抛光面之下的顶部开口,(2)与所述底面共平面的底部开口,和(3)从孔径的顶部开口延伸到孔径的底部开口的直线竖直侧壁;所述至少一个孔径区域充填有对于700-710纳米的波长具有小于80%的透光率并与热固性聚氨酯不透明区域直接化学地接合的热固性聚氨酯局部区域透明部材料的固化插塞;(b)覆盖抛光层的所述底面的至少一部分的无孔径的可移除的释放片材;以及(c)介于所述抛光层与所述释放片材之间的粘合剂层;所述粘合剂层能够使抛光层的底面在所述释放片材已被移除后粘附至CMP设备的压板。
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