[发明专利]温度控制装置、温度控制方法以及载置台

摘要

提供一种温度控制装置、温度控制方法以及载置台。在加热器发生了断线的情况下也将被处理基板的温度控制的精度维持为高精度。基板处理装置具备静电卡盘、控制部以及多个加热器。静电卡盘的内部的各分割区域分别嵌入有多个加热器。在各分割区域中被嵌入的多个加热器并联连接。控制部针对每个分割区域，基于流过被嵌入到分割区域的多个加热器的电流的合计值来判定被嵌入到每个分割区域的加热器的一部分有无断线。然后，控制部在判定为被嵌入到分割区域的加热器的一部分发生了断线的情况下进行控制，以使得流过被嵌入到加热器的一部分发生了断线的分割区域内的每一个加热器的电流比流过所有加热器都没有发生断线的分割区域内的每一个加热器的电流多。

主权项

一种温度控制装置，其特征在于，具备：载置台，其用于载置被处理基板；加热器，在所述载置台的内部的各个分割区域分别嵌入有多个该加热器，该各个分割区域是将所述载置台的上表面分割为多个区域而得到的；以及控制部，其针对每个所述分割区域，基于流过被嵌入到所述分割区域的多个加热器的电流的合计值，来判定被嵌入到每个所述分割区域的加热器的一部分有无断线，其中，在各个所述分割区域中被嵌入的多个加热器并联连接，所述控制部针对各个所述分割区域，在判定为被嵌入到该分割区域的加热器的一部分发生了断线的情况下进行控制，以使得流过被嵌入到加热器的一部分发生了断线的分割区域内的每一个加热器的电流比在所有加热器都没有发生断线的情况下流过每一个加热器的电流多。