[发明专利]温度控制装置、温度控制方法以及载置台

权利要求书

1.一种温度控制装置，其特征在于，具备：

载置台，其用于载置被处理基板；

加热器，在所述载置台的内部的多个分割区域中的各个分割区域分别嵌入有多个该加热器，该各个分割区域是将所述载置台的上表面分割为多个区域而得到的；以及

第一控制部和多个控制块，其中，针对所述多个分割区域中的每个分割区域设置有一个所述控制块，并且每个所述控制块具有电流计以及连接到所述第一控制部的电流控制器，所述电流计用于测定流过被嵌入到所述分割区域的多个加热器的电流的合计值，所述第一控制部针对所述多个分割区域中的每个分割区域，基于所述电流计所测定的所述合计值，来判定被嵌入到每个所述分割区域的多个加热器中的一部分加热器有无断线，

其中，在所述多个分割区域中的各个所述分割区域中被嵌入的多个加热器并联连接，

响应于所述第一控制部针对所述多个分割区域中的各个所述分割区域判定为被嵌入到该分割区域的多个加热器中的一部分加热器发生了断线，所述电流控制器将流过被嵌入到所述多个加热器中的一部分加热器发生了断线的分割区域内的每一个加热器的断线电流控制为比在被嵌入到所述分割区域内的所有加热器都没有发生断线的情况下流过每一个加热器的正常电流多。

2.根据权利要求1所述的温度控制装置，其特征在于，

在所述多个分割区域中的各个所述分割区域嵌入有并联连接的两个加热器，

所述第一控制部针对每个所述分割区域，在流过被嵌入到所述分割区域的两个加热器的电流的子合计值小于第一阈值且为比所述第一阈值小的第二阈值以上的情况下，判定为被嵌入到该分割区域的所述两个加热器中的一个加热器发生了断线，其中，该第一阈值小于在所述两个加热器都没有发生断线的情况下流过被嵌入到所述分割区域的两个加热器的电流的子合计值。

3.根据权利要求2所述的温度控制装置，其特征在于，

所述加热器是电阻加热器，

所述第一阈值是对在所述两个加热器都没有发生断线的情况下流过被嵌入到所述分割区域的两个加热器的电流的子合计值的二分之一倍的值加上第一规定的余量所得到的值，

所述第二阈值是对0加上第二规定的余量所得到的值。

4.根据权利要求3所述的温度控制装置，其特征在于，

响应于所述第一控制部针对所述多个分割区域中的各个所述分割区域判定为被嵌入到该分割区域的两个加热器中的一个加热器发生了断线所述电流控制器控制流过被嵌入到所述两个加热器中的一个加热器发生了断线的分割区域内的所述两个加热器中的另一个加热器的电流使其成为在被嵌入到所述分割区域内的所述两个加热器都没有发生断线的情况下流过每一个加热器的电流的2倍。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的温度控制装置，其特征在于，

所述载置台包含层叠的多个绝缘层，

被嵌入到所述分割区域的多个加热器中的各个加热器配置于所述多个绝缘层中的一个绝缘层的不同的面。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的温度控制装置，其特征在于，

所述载置台包含层叠的多个绝缘层，

被嵌入到所述分割区域的多个加热器中的各个加热器配置于所述多个绝缘层中的一个绝缘层的同一面。

7.一种温度控制方法，对被载置在载置台上的被处理基板的温度进行控制，其中，针对所述载置台的内部的多个分割区域中的各个分割区域设置有一个控制块，并且每个所述控制块具有电流计以及电流控制器，所述各个分割区域是将所述载置台的上表面分割为多个区域而得到的，所述温度控制方法的特征在于，包括以下步骤：

利用所述电流计测定流过针对每个所述分割区域分别嵌入且并联连接的多个加热器的电流的合计值；

针对所述多个分割区域中的各个分割区域，基于所述电流计所测定的所述合计值，来针对每个所述分割区域判定被嵌入的所述多个加热器中的一部分加热器有无断线；以及

响应于针对所述多个分割区域中的各个所述分割区域判定为被嵌入到该分割区域的所述多个加热器中的一部分加热器发生了断线，利用所述电流控制器将流过被嵌入到所述多个加热器中的一部分加热器发生了断线的分割区域内的每一个加热器的电流控制为比在被嵌入到所述分割区域内的所有加热器都没有发生断线的情况下流过每一个加热器的正常电流多。