[发明专利]一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统在审
| 申请号： | 201710889400.6 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN107727266A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 陈锦鹏;余占清;欧阳旭东;王晓蕊;邓惠华;牟亚;袁晓杰;郭琳;李少逸;蔡素雄;姚远;黄泽荣 | 申请（专利权）人： | 广东电网有限责任公司惠州供电局;清华大学 |
| 主分类号： | G01K7/16 | 分类号： | G01K7/16 |
| 代理公司： | 北京知联天下知识产权代理事务所(普通合伙)11594 | 代理人： | 王冲,吴鑫 |
| 地址： | 516000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统，所述温度传感器包括前端结构、后端电路、无线信号转换电路和供能电路，所述前端结构采用悬臂梁结构，一悬臂梁的一端固定，另一端悬空；并且所述悬臂梁为铝层和SOI器件层硅层的双层结构；所述后端电路包括CMOS开关电容放大器，所述CMOS开关电容放大器将所述前端结构生成的电信号进行放大；所述无线信号转换电路接收后端电路的所述电信号，并通过天线发送；所述供能电路用于通过无线方式对所述MEMS温度传感器供电。MEMS温度传感器实现了微小化、测温精度高、可靠性高，并且有效稳定地实现对开关柜温度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 温度传感器 及其 开关柜 测温 系统 | ||
【主权项】：
一种MEMS温度传感器，其特征在于：所述温度传感器包括前端结构、后端电路、无线信号转换电路和供能电路，其中：所述前端结构采用悬臂梁结构，所述悬臂结构为：一悬臂梁的一端固定，另一端悬空；并且所述悬臂梁为双层结构，上层为铝层、下层为SOI器件层的硅层；所述后端电路包括CMOS开关电容放大器，所述CMOS开关电容放大器将所述前端结构生成的电信号进行放大；所述无线信号转换电路接收后端电路的所述电信号，并将接收的电信号通过天线发送；所述供能电路包括无线能量转换电路，用于通过无线方式对所述MEMS温度传感器供能。
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