[发明专利]一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统有效
申请号: | 201710880114.3 | 申请日: | 2017-09-25 |
公开(公告)号: | CN107727365B | 公开(公告)日: | 2019-09-24 |
发明(设计)人: | 贺一鸣;陆丹;李召松;赵玲娟 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统,测量系统包括:一可调谐激光器,用于产生波长可调谐的激光;一光路环形装置,将可调谐激光器输出的光信号导入耦合装置并将耦合装置所收集的反射光导入光电探测器;一耦合装置,用于实现环形装置和待测波导之间的耦合;一光电探测器,将收集到的光功率转换成光电流,并输出至计算机。一控制计算机,用于控制可调谐激光器的波长变化,并采集来自光电探测器的光电流信号;一待测波导,用于进行损耗测量。本测量方法通过测量波导F‑P干涉反射谱的精细度,进而计算获得波导的实际损耗,系统结构简单,操作简便,精度高,可广泛应用于集成光学领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 反射 精细 测量 波导 损耗 系统 | ||
【主权项】:
1.一种利用反射谱精细度测量光波导损耗的系统,包括:光源、光路环形装置、耦合装置和光电探测器,其中,所述光路环形装置的第一端口接收光源发出的光,并将其由第二端口输出至耦合装置;所述耦合装置用于将所述光路环形装置第二端口的输出光耦合进待测波导,并收集待测波导的反射光,将所述反射光导入光路环形装置的第二端口;所述光路环形装置还用于接收耦合装置导入的反射光,并将所述反射光由光路环形装置的第三端口传输至光电探测器;所述光电探测器用于将接收到的光功率转换为光电流信号;其中,所述待测波导的损耗公式为:
其中,α为待测波导的波导损耗,F为光源在不同波长下的探测器光电流曲线的精细度,
FSR为所述探测器光电流曲线的自由光谱宽度,即曲线的周期,FWHM为所述探测器光电流曲线谷值处的半高全宽,L为通过自由光谱宽度求得的待测波导的长度,
λ为光源的波长,ng为待测波导的群折射率,R为待测波导两端面的反射率。
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