[发明专利]一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201710855225.9 | 申请日： | 2017-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN107601424B | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;黄琳雅;蒋维乐;胡英杰;王久洪;李支康;苑国英;赵玉龙;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N11/10 | 分类号： | G01N11/10;B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片及其制备方法，包括硅基底和硅微谐振梁结构，其中硅微谐振梁结构包括中间的振子以及振子两侧的弹性连接梁和弹性固支梁，振子每侧两根相互垂直的连接梁组成T型梁结构，振子及其两侧的弹性固支梁和T型梁分别布有两根导线，两导线沿振子长度方向平行分布，分别用于通入一定频率的正弦交变电流和检测产生的感应电动势，根据硅微谐振梁谐振状态时感应电动势输出幅值的大小可获得硅微谐振梁在被测流体中的谐振频率，通过在不同流体中硅微谐振梁的谐振频率和品质因子来实现流体黏度和密度的测量。MEMS黏密度传感器芯片基于面内振动原理，使用电磁激励、电磁检测的方法实现流体黏度和密度的准确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振梁 振子 密度传感器芯片 感应电动势 谐振 流体黏度 谐振频率 固支梁 流体 制备 正弦交变电流 弹性连接 电磁激励 电磁检测 两根导线 品质因子 平行分布 谐振状态 振动原理 准确测量 垂直的 连接梁 硅基 测量 输出 检测 | ||
【主权项】：
1.一种基于面内谐振的MEMS黏密度传感器芯片，其特征在于，包括硅基底(12)和硅微谐振梁结构，硅基底(12)上开设有窗口(12‑1)，硅微谐振梁结构设置在窗口(12‑1)内并与窗口(12‑1)连接；硅微谐振梁结构包括振子(1)、弹性连接梁、弹性固支梁以及导线；弹性连接梁包括第一弹性连接梁(2)、第二弹性连接梁(3)、第三弹性连接梁(4)和第四弹性连接梁(5)；弹性固支梁包括第一弹性固支梁(6)、第二弹性固支梁(7)、第三弹性固支梁(8)和第四弹性固支梁(9)；第一弹性连接梁(2)和第二弹性连接梁(3)相互垂直并组成T型梁结构，第一弹性连接梁(2)的一端与振子(1)相连，另一端与第二弹性连接梁(3)的中部连接，第二弹性连接梁(3)的两端分别与第一弹性固支梁(6)和第二弹性固支梁(7)的端部相连，第一弹性固支梁(6)和第二弹性固支梁(7)相互平行，均与第二弹性连接梁(3)垂直；第三弹性连接梁(4)和第四弹性连接梁(5)相互垂直并组成T型梁结构，第三弹性连接梁(4)与第一弹性连接梁(2)对称设置在振子(1)两侧，第三弹性连接梁(4)的一端与振子(1)相连，另一端与第四弹性连接梁(5)的中部连接，第四弹性连接梁(5)的两端分别与第三弹性固支梁(8)和第四弹性固支梁(9)的端部相连，第三弹性固支梁(8)和第四弹性固支梁(9)相互平行，均与第四弹性连接梁(5)垂直；第一弹性连接梁(2)、第二弹性连接梁(3)、第一弹性固支梁(6)和第二弹性固支梁(7)连接而成的整体与第三弹性连接梁(4)、第四弹性连接梁(5)、第三弹性固支梁(8)和第四弹性固支梁(9)连接而成的整体关于振子(1)对称；第一弹性连接梁(2)和第三弹性连接梁(4)的中心线与振子(1)的长度方向的中心线重合；第一弹性固支梁(6)、第二弹性固支梁(7)、第三弹性固支梁(8)和第四弹性固支梁(9)的另一端固定于硅基底(12)的窗口(12‑1)的边缘上；导线包括对称设置的第一导线(10)和第二导线(11)，第一导线(10)沿着第三弹性固支梁(8)、第四弹性连接梁(5)、振子(1)的长度方向的中心线、第一弹性连接梁(2)、第二弹性连接梁(3)和第一弹性固支梁(6)的路径设置；第二导线(11)沿着第四弹性固支梁(9)、第四弹性连接梁(5)、振子(1)的长度方向的中心线、第一弹性连接梁(2)、第二弹性连接梁(3)和第二弹性固支梁(7)的路径设置。
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- 本发明涉及一种用于测定液体的正确粘度的装置，该装置包括构件，当将该构件置于至少具有期望或特定粘度的流体中时，其保持在或呈现出基本直立或预定位置，如果流体的粘度小于期望或特定粘度，则该构件不能保持在基本直立或预定位置。本发明还涉及特定装置的方法和用途，并且特别适用于帮助患有吞咽障碍(或类似病症)并且希望对液体进行增稠的患者，以使他们能够安全吞咽，而不会发生吸入。
- 一种润滑油运动粘度测定器-201821007641.X
- 时红欣 - 东莞麦赫伦润滑油有限公司
- 2018-06-28 - 2019-01-11 - G01N11/10
- 本实用新型公开了一种润滑油运动粘度测定器，包括底座和测量桶，底座顶端的中部开设有凹槽，凹槽内壁的底端设有第一磁铁，第一磁铁与第二磁铁磁性连接，第二磁铁设置在测量桶底端的中部，测量桶的开口处螺纹连接有桶盖，桶盖顶端的中部安装有电动机，本实用新型一种润滑油运动粘度测定器，通过使用电动机带动搅拌叶，搅动测量桶内的润滑油，避免采样的润滑油因为杂质的影响测量运动粘度数值；通过在测量桶内部底端设有的加热棒以及温控开关，可以保持测量桶内温度，避免温度影响数值测量；通过设有的丝杆带动夹板，可以稳定夹住检测仪的中部，避免在检测的时候由于晃动，影响测量结果。
- 一种维卡仪-201821098632.6
- 张军;张茜;王建超;马娟 - 石家庄科佳建筑工程技术有限公司
- 2018-07-11 - 2019-01-11 - G01N11/10
- 本实用新型公开了一种维卡仪，包括基台，基台顶端固定安装有安装架，安装架包括竖直固定连接在基台上的竖直段和水平固定连接在竖直段顶端的水平段，水平段上开有沿竖直方向的导向孔，导向孔内设有滑杆，滑杆的底部安装有试针，水平段的顶部安装有高度调节组件和安装在高度调节组件顶端的限位环，限位环呈环状，滑杆包括上部较粗的限位段和下部较粗的导向段，限位段搭在限位环上。更换试针后，能够通过高度调节组件调节限位环的高度，滑杆能够在不同高度的限位环下进行限位，更换试针后，先调节至滑杆触碰限位环时，试针刚好接触玻璃板，从而确保仪器不会因操作失误而碰破玻璃，且更换试针后方便重新调节至试针在非正常下落时只能刚好接触玻璃板。
- 用于初粘性测试仪的多槽型存球框、测试装置以及烟用搭口胶初粘性的测试方法-201810984056.3
- 尹大锋;李军;谭新良;王勇;易浩;肖飞;周洁;黄清平;丁多;廖文大 - 湖南中烟工业有限责任公司
- 2018-08-27 - 2019-01-08 - G01N11/10
- 本发明公开了一种用于初粘性测试仪的多槽型存球框，包括框体，框体的底部内壁上设置有多个寄宿钢球的凹槽。本发明还包括装载有所述的多槽型存球框用于测试液态胶体的滚球法初粘性的测试装置。本发明还公开了用于测试烟用搭口胶在卷烟纸上初粘性的方法，将卷烟纸固定在所述的测试板上，随后再在所述的卷烟纸表面涂覆待测的搭口胶，在所述的多槽型存球框的凹槽内装填钢球，操作所述的翻转装置，使各凹槽中的钢球同时释放至涂覆有搭口胶的坡面并滑行至停止，记录测试结果；本发明方法首次实现了烟用搭口胶这一液体胶液在卷烟纸上初粘性的测定，显著提升了测试效率，降低了测试误差。
- 一种可监测浆体流动性能的自振捣灌浆装置-201821082511.2
- 郑愚;周玲珠;罗远彬;叶宇霄;孙清臣 - 东莞理工学院
- 2018-07-10 - 2019-01-08 - G01N11/10
- 本实用新型公开了一种可监测浆体流动性能的自振捣灌浆装置，其支撑振动台的振动板上表面装设浆料盛装模具，浆料盛装模具开设容浆室、进浆口、出浆口；浆料盛装模具右端侧装设自动推浆组件，自动推浆组件包括推浆安装座、变频驱动电机、驱动转盘、水平导向座、水平活动块、偏心推杆、灌浆推杆、活动推浆板；浆料盛装模具左端侧装设有两个可左右水平移动的贯入阻力仪，各贯入阻力仪的贯入阻力针分别沿着左右方向水平布置。本实用新型具有设计新颖、自动化程度高、灌浆效率高且省时省力的优点，既能解决人工灌浆带来的问题，又能实现灌浆浆体流动性监测并判断浆体是否满足灌浆要求，进而有利于提高预留孔道灌浆质量并保证灌浆构件具有良好结构性能。
- 一种建筑砂浆稠度检测装置-201810988001.X
- 姚景源 - 姚景源
- 2018-08-28 - 2018-12-18 - G01N11/10
- 本发明公开一种建筑砂浆稠度检测装置，包括机架、容器、电机、线轮、试验锥，所述线轮两轴端通过轴承水平设置在机架上，且线轮的其中一轴端设有从动齿轮，所述线轮上缠绕有细线，所述试验锥的上端中心固定连接有标尺，所述标尺的上端系在线轮的细线上，位于线轮设有从动齿轮一侧的机架上通过支座设有所述的电机，所述电机的轴端设有与从动齿轮啮合的主动齿轮，所述容器通过合成平移机构设置在试验锥的正下方，所述机架的内侧设有加热装置。本发明结构设计合理，操作简单，有效的解决了工地上砂浆稠度测量时外界环境的干扰，同时可升降式试验锥大大的提高了试验数据的多样性，提高了准确率。
- 普通硅酸盐水泥检测装置-201810972971.0
- 陈永林 - 陈永林
- 2018-08-24 - 2018-11-27 - G01N11/10
- 本发明公开了普通硅酸盐水泥检测装置，其结构包括搅拌电机、水箱、检测主机、恒温恒湿控制器、视窗、支撑脚、箱门、铰链，搅拌电机固定安装在检测主机上端，水箱固定安装在检测主机上端，恒温恒湿控制器嵌在检测主机外表面并且通过导线电连接，视窗嵌在箱门前表面，支撑脚共设有四个并且上端固定安装在检测主机底部四角，箱门通过铰链与检测主机相铰接，检测主机包括外壳、搅拌机构、驱动机构、抹平机构，通过抹平机构和震荡机构对水泥浆进行震荡和抹平，确保水泥浆内部没有气泡，防止气泡的存在，影响到检测稠度的结果；同时通过加湿机构和恒温凝结检测机构，确保水泥浆在进行凝结检测的过程中，外部保持恒温恒湿，使得检测的结果更加准确。
- 粘度测定方法以及粘度测定装置-201380067078.9
- 干野隆芳 - 蓝帜株式会社
- 2013-12-20 - 2018-11-27 - G01N11/10
- 本发明提供一种能够高精度地测定非牛顿流体的试料的粘度的粘度测定方法以及粘度测定装置。具备：（1）在具有内周半径的容器内的试料中，使具有外周半径的柱塞浸渍到初期深度的工序，（2）使柱塞以速度（v1）进一步浸渍距离（L1）并测定柱塞承受的力的工序，（3）求出力的峰值的工序，（4）使柱塞返回到初期深度的工序，（5）使柱塞以速度（v2）进一步浸渍距离（L2）并测定柱塞承受的力的工序，（6）求出力的峰值的工序，（7）基于计算式计算出表观粘度的工序。
- 专利分类
