[发明专利]晶片舟组件及包含晶片舟组件的衬底处理设备

摘要

本申请提供晶片舟组件及包含晶片舟组件的衬底处理设备。一种晶片舟组件包括舟、基座和底座。所述舟包括承托晶片的槽和包含气体管线的杆。所述基座包括第一表面、与所述第一表面相反的第二表面以及与所述气体管线耦接的连接管线。所述底座位于所述基座的第二表面上，使所述基座旋转，并向所述连接管线供应气体。所述舟位于所述基座的第一表面上。所述气体沿所述气体管线流动，并从所述杆与所述晶片接触的位置被喷散，以使所述晶片浮起。

主权项

一种晶片舟组件，包括：舟，其包括承托晶片的槽和包含气体管线的杆；基座，其包括第一表面、与所述第一表面相反的第二表面以及与所述气体管线耦接的连接管线；以及底座，其位于所述基座的第二表面上，使所述基座旋转并向所述连接管线供应气体，其中所述舟位于所述基座的第一表面上，并且其中所述气体沿所述气体管线流动，并从所述杆与所述晶片接触的位置被喷散，以便使所述晶片浮起。