[发明专利]用于MEMS开关器件的保护方案有效

专利信息
申请号: 201710843643.6 申请日: 2017-09-19
公开(公告)号: CN107840303B 公开(公告)日: 2020-07-14
发明(设计)人: P·L·菲茨格罗德;S·帕萨萨拉希;J·A·萨塞多 申请(专利权)人: 亚德诺半导体集团
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 刘倜
地址: 百慕大群岛(*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开涉及用于MEMS开关器件的保护方案。微机电开关(MEMS)器件可使用集成电路制造技术和材料制造。这种开关器件可以提供适用于广泛应用的循环寿命和插入损耗性能,包括例如,自动化测试设备(ATE)、切换测量仪器(如频谱分析仪、网络分析仪或通讯测试系统),并用于通信系统,如信号处理。MEMS器件可容易受到电气过压,例如与静电放电(ESD)瞬变事件相关联。固态箝位电路可以并入MEMS器件封装中,以保护一个或多个MEMS器件免受损坏的过压条件。箝位电路可包括具有互补电流‑电压关系的单个或多个阻断结结构,例如帮助钳位电路呈现的电容电压关系线性化。
搜索关键词: 用于 mems 开关 器件 保护 方案
【主权项】:
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