[发明专利]用于MEMS开关器件的保护方案

权利要求书

1.一种具有微机电开关器件和固态箝位电路的电子电路，所述电子电路被构造为接收逻辑电平信号，并提供控制信号以响应于接收的逻辑电平信号来静电启动所述微机电开关器件，所述电子电路包括：

集成电路器件封装，包括：

第一基板；

位于所述第一基板之上或之内的集成微机电开关器件；

外壳，限定使周围环境和所述集成微机电开关器件隔离的区域；和

固态箝位电路，电连接所述微机电开关器件，并且被构造为抑制或压制由于瞬态过电压状态而引起的所述微机电开关器件的损坏，所述固态箝位电路包括第一集成二极管器件和第二集成二极管器件的串联布置的互补分支，其中同一分支中的所述第一集成二极管器件和第二集成二极管器件具有互补电容电压关系，所述第一集成二极管器件和第二集成二极管器件分别包括横向分开的阳极区域和阴极区域，所述阳极区域和阴极区域被布置为提供相对于参考节点的正向电压摆幅和负向电压摆幅的保护。

2.根据权利要求1所述的电子电路，其中所述第一集成二极管器件和第二集成二极管器件被布置以提供用于所述固态箝位电路的线性或大约线性整体电容电压关系。

3.根据权利要求1所述的电子电路，其中所述第一集成二极管器件包括由半导体器件内的正导电类型和负导电类型的区域的第一布置限定的第一类型的二极管；和

其中所述第二集成二极管器件包括由半导体器件内的正导电类型和负导电类型的第二布置限定的第二类型的二极管，所述第二布置包括与限定所述第一类型的二极管的相应区域相比具有互补导电类型的导电区域。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路使用绝缘体上硅基板构造单片集成。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路使用第二基板异构集成。

6.根据权利要求5所述的电子电路，其中所述第二基板包括限定所述参考节点的金属化层；和

其中所述参考节点和至少部分由包括为外壳的一部分的电绝缘材料限定的导电区域导电隔离。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的电子电路，其中所述外壳是限定密封隔离区域以使所述集成微机电开关器件和周围环境隔离的密封外壳，所述密封外壳包含电绝缘材料。

8.根据权利要求7所述的电子电路，其中第二基板包括所述密封外壳的一部分。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路与所述微机电开关器件在相同的基板之上或之内共集成。

10.根据权利要求9所述的电子电路，其中所述固态箝位电路的至少一部分位于所述微机电开关器件正上方或正下方的基板内。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的电子电路，其中所述固态箝位电路和所述微机电开关器件放置在层叠基板上，所述层叠基板包括和其上或其中制造所述微机电开关器件的基板不同的材料。

12.一种保护微机电开关器件的方法，该方法包括：

使信号耦合到容纳所述微机电开关器件的封闭集成电路器件封装；

在瞬态过电压状态期间使用电耦合所述微机电开关器件的固态箝位电路，抑制或压制所述信号对所述微机电开关器件的损坏，所述固态箝位电路包括为所述集成电路器件封装的一部分；以及

使用第一集成二极管器件和第二集成二极管器件的互补分支的串联布置补偿包括作为固态箝位电路的一部分的二极管的非线性电容电压关系，其中同一分支中的所述第一集成二极管器件和第二集成二极管器件具有互补电容电压关系，所述第一集成二极管器件和第二集成二极管器件分别包括横向分开的阳极区域和阴极区域；

其中使用控制电路控制所述微机电开关器件的状态，所述控制电路被构造为接收逻辑电平信号，并提供控制信号以响应于接收的逻辑电平信号来静电启动所述微机电开关器件，所述控制电路包括为所述集成电路器件封装的一部分。