[发明专利]一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法有效
申请号: | 201710828486.1 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107622932B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 赵文天 | 申请(专利权)人: | 宁波鑫利成真空科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/147 | 分类号: | H01J37/147 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种轴向电子束枪用偏转接头,包括偏转管,所述偏转管上端设有上法兰,下端设有下法兰,所述上法兰外套有偏转线圈,所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线圈,所述下法兰内插有测温探头,使用偏转接头后,由电子枪射出的电子束被偏转接头的偏转线圈偏转一个角度后再进入真空炉室,从结构上避免了炉室内各种蒸汽、飞溅物对电子枪内部的直射。使绝大部分蒸汽和飞溅等污染物都沉积在偏转接头内壁,从而保护了需要高洁净环境的电子枪内部,大大提高电子枪工作稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 轴向 电子束 偏转 接头 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
1.一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,包括偏转管,所述偏转管上端设有上法兰,下端设有下法兰,所述上法兰外套有偏转线圈,所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线圈,所述下法兰内插有测温探头,所述偏转管与上法兰之间设有出水口,所述偏转管与下法兰之间设有进水口。
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