[发明专利]一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法

说明书

本发明涉及一种轴向电子束枪用偏转接头，包括偏转管，所述偏转管上端设有上法兰，下端设有下法兰，所述上法兰外套有偏转线圈，所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线圈，所述下法兰内插有测温探头，使用偏转接头后，由电子枪射出的电子束被偏转接头的偏转线圈偏转一个角度后再进入真空炉室，从结构上避免了炉室内各种蒸汽、飞溅物对电子枪内部的直射。使绝大部分蒸汽和飞溅等污染物都沉积在偏转接头内壁，从而保护了需要高洁净环境的电子枪内部，大大提高电子枪工作稳定性。

技术领域

本发明涉及电子束枪技术领域，尤其涉及一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法。

背景技术

现有用于焊接、蒸发以及熔炼用途的各类轴向电子枪，又名电子束枪。从电子产生位置到束流出口几乎都是直线通道，无论是传统的热阴极电子束枪还是较新的冷阴极气体放电电子束枪。

这种轴向结构的好处是整个电子枪枪结构紧凑，束流方向集中，易于聚焦和扫描。但同时缺点也很明显。由于电子枪的出口朝向正对真空室，电子枪内部各部件均暴露在炉室环境污染下。在电子枪使用过程中，由于材料加热而产生的各类金属和非金属蒸汽、飞溅物等杂质，也会很容易径直的进入电子枪内部（直线结构的最大缺点），沉积在电子枪零部件表面，污染枪室，造成高压绝缘性能降低，引发意外放电，影响电子枪工作稳定性。污染严重时飞溅物甚至会落在需要高压绝缘的间隙，直接造成局部高压放电，烧毁电子枪内部的部件。因此，如何减少或避免这种蒸发物和飞溅物对电子枪内部的污染就成为提高电子枪工作稳定性的关键之一。

现有方法基本上有以下两种：一种是在电子枪和炉室之间用微量充气的方法构建一个相对高气压区，来对蒸汽形成一定压力阻滞。这种方法缺点是机构复杂，需要额外很多充气、抽气机构，而且控制不好容易影响电子枪工作真空，造成枪内放电。另一种方法是对枪室进行强抽真空，用更高的真空度来吸走蒸汽。这种方法多数采用额外真空泵进行，也存在结构复杂，成本高的缺点。这两种方法的共同缺点是无论哪种方法，对于大颗粒的飞溅都是无能为力的，而对于蒸汽的蒸镀，也作用有限。

发明内容

对上述现有技术的现状，本发明所要解决的技术问题在于提供一种

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种轴向电子束枪用偏转接头，包括偏转管，所述偏转管上端设有上法兰，下端设有下法兰，所述上法兰外套有偏转线圈，所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线圈，所述下法兰内插有测温探头。

进一步地，所述偏转管与上法兰之间设有出水口，所述偏转管与下法兰之间设有进水口。

进一步地，所述上法兰上设有电子枪出口法兰。

进一步地，所述电子枪出口法兰余所述上法兰之间设有密封圈。

进一步地，所述下法兰下端设有炉体电子枪接口。

一种轴向电子束枪用偏转接头使用方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）首先调节需要使用偏转接头的电子枪的电子束射出方向，使其沿中心射出；

（2）连接电子枪、偏转接头和真空炉体，随后启动真空系统，将炉体和电子枪抽到工作真空度；

（3）启动电子枪，调节加速电压到正常工作值，缓慢增加电子束功率到0.01~0.4kW，逐步增加偏转接头的偏转线圈的电流值（当使用带测温装置的偏转接头时，可以测温数据变化作为电子束是否照射到偏转接头侧壁的依据。当其温度上升时，继续增大偏转线圈电流，直至其不在增大），同时密切观察炉室内电子束，直到偏转接头出口的电子束从中心射出；

（4）记录并固定偏转接头的偏转线圈的电流值，在使用过程中同一加速电压对应同一偏转电流；

（5）开始正常使用。