[发明专利]一种轴向电子束枪用偏转接头及其使用方法有效
申请号: | 201710828486.1 | 申请日: | 2017-09-14 |
公开(公告)号: | CN107622932B | 公开(公告)日: | 2019-04-30 |
发明(设计)人: | 赵文天 | 申请(专利权)人: | 宁波鑫利成真空科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/147 | 分类号: | H01J37/147 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315000 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 轴向 电子束 偏转 接头 及其 使用方法 | ||
1.一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,包括偏转管,所述偏转管上端设有上法兰,下端设有下法兰,所述上法兰外套有偏转线圈,所述下法兰外从上到下依次套有聚焦线圈、扫描线圈,所述下法兰内插有测温探头,所述偏转管与上法兰之间设有出水口,所述偏转管与下法兰之间设有进水口。
2.根据权利要求1所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述上法兰上设有电子枪出口法兰。
3.根据权利要求2所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述电子枪出口法兰余所述上法兰之间设有密封圈。
4.根据权利要求1所述的一种轴向电子束枪用偏转接头,其特征在于,所述下法兰下端设有炉体电子枪接口。
5.一种轴向电子束枪用偏转接头使用方法,其特征在于,包括如下步骤:
首先调节需要使用偏转接头的电子枪的电子束射出方向,使其沿中心射出;
连接电子枪、偏转接头和真空炉体,随后启动真空系统,将炉体和电子枪抽到工作真空度;
启动电子枪,调节加速电压到正常工作值,缓慢增加电子束功率到0.01 ~ 0.4kW,逐步增加偏转接头的偏转线圈的电流值,当使用带测温装置的偏转接头时,可以测温数据变化作为电子束是否照射到偏转接头侧壁的依据;当其温度上升时,继续增大偏转线圈电流,直至其不在增大,同时密切观察炉室内电子束,直到偏转接头出口的电子束从中心射出;
记录并固定偏转接头的偏转线圈的电流值,在使用过程中同一加速电压对应同一偏转电流;
开始正常使用。
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