[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法及驱动方法、显示装置有效
| 申请号： | 201710818794.6 | 申请日： | 2017-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN107634102B | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 毛德丰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/12;H01L21/336;H01L21/77;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 滕一斌 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及其制造方法及驱动方法、显示装置，属于显示技术领域。所述薄膜晶体管包括：栅极图形、栅极绝缘层、有源层图形、源漏极图形和钝化层；其中，所述有源层图形的材料包括：碳纳米管材料，所述钝化层的材料为阻荷材料，所述阻荷材料用于减少所述碳纳米管材料的表面的移动电荷。该钝化层的材料为阻荷材料，可以减少碳纳米管材料的表面的移动电荷，进而减少了薄膜晶体管出现回滞现象的概率。本发明用于显示装置中。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 及其 制造 方法 驱动 显示装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，所述薄膜晶体管包括：栅极图形、栅极绝缘层、有源层图形、源漏极图形和钝化层；其中，所述有源层图形的材料包括：碳纳米管材料，所述钝化层的材料为阻荷材料，所述阻荷材料用于减少所述碳纳米管材料的表面的移动电荷。
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