[发明专利]一种表面具有微结构的ZnO基透明导电玻璃制备方法在审
| 申请号： | 201710795789.8 | 申请日： | 2017-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN107579135A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 彭寿;马立云;姚婷婷;李刚;杨勇;汤永康;沈洪雪;金克武;王天齐;彭赛奥;甘治平 | 申请（专利权）人： | 蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0236;H01L31/0224 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所34113 | 代理人： | 陈俊 |
| 地址： | 233010 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种表面具有微结构的ZnO基透明导电玻璃制备方法，包括以下步骤S1、在玻璃衬底表面室温下溅射生长ZnO基薄膜；S2、采用线棒刮涂法，在ZnO基薄膜表面制备单层离散分布的聚苯乙烯小球掩膜层；S3、采用反应等离子体刻蚀技术对带有掩膜的ZnO基薄膜进行刻蚀，使ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构；S4、将刻蚀好的ZnO基薄膜退火处理，去除聚苯乙烯小球掩膜，最终得到表面具有微结构的ZnO基透明导电玻璃；本方法能够制备出的ZnO基透明导电玻璃具有织构化微结构表面形貌，且具有高透过率、低电阻的，制备过程简单，并且微结构形貌可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 具有 微结构 zno 透明 导电 玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种表面具有微结构的ZnO基透明导电玻璃制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采用射频磁控溅射工艺，在玻璃衬底表面室温下溅射生长ZnO基薄膜；S2、采用线棒刮涂法，在ZnO基薄膜表面制备单层离散分布的聚苯乙烯小球掩膜层；S3、采用反应等离子体刻蚀技术对带有掩膜的ZnO基薄膜进行刻蚀，使ZnO基薄膜表面形成凹凸的织构化结构；S4、将刻蚀好的ZnO基薄膜退火处理，去除聚苯乙烯小球掩膜，最终得到表面具有微结构的ZnO基透明导电玻璃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于蚌埠玻璃工业设计研究院，未经蚌埠玻璃工业设计研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710795789.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
