[发明专利]环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法有效
| 申请号： | 201710762731.3 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN107560585B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 廖德锋;周炼;赵世杰;谢瑞清;陈贤华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的高精度检测方法。环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法，该方法包括以下步骤：1)采用位移传感器以圆弧路径检测修正盘的表面形状；2)采用直线度表桥标定参考点相对于中心点的高度；3)生成修正盘的径向轮廓。本发明针对大尺寸修正盘工作面朝下并且难以翻转的问题，根据修正盘表面形状呈中心对称分布的特点，结合机床抛光盘的旋转运动以圆弧路径扫描测得修正盘的表面形状。本发明能够检测大型环抛机中大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单方便且精度较高，通过本发明方法获得修正盘的表面形状，可以推测沥青抛光盘的形状，从而调整环抛加工工艺参数以改善光学元件的面形精度。 | ||
| 搜索关键词： | 尺寸修正 修正盘 形状误差 盘表面 检测 圆弧路径 抛光盘 表面形状误差 加工工艺参数 中心对称分布 大型环抛机 高精度检测 位移传感器 光学元件 径向轮廓 参考点 调整环 直线度 中心点 翻转 标定 面形 机床 沥青 扫描 | ||
【主权项】：
1.环抛中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)采用位移传感器以圆弧路径检测修正盘的表面形状；2)采用直线度表桥(40)标定参考点相对于中心点的高度：选择修正盘(26)表面的任一点作为参考点p，参考点与修正盘(26)中心的距离为d；采用跨度为2d的直线度表桥(40)检测参考点相对于中心点的高度，检测时直线度表桥(40)的中间探针位于中心点，两端支点分别位于参考点及其对称点，检测结果即为参考点的实际形状误差，记为h0；3)生成修正盘(26)的径向轮廓。
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