[发明专利]液滴排出装置和液滴排出条件修正方法有效
申请号: | 201710723809.0 | 申请日: | 2017-08-22 |
公开(公告)号: | CN107768278B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 林辉幸;大岛澄美;岛村明典 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B41J29/393;B41J2/07 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动,从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘,其包括线传感器,在工件(W)上预先形成有规定大小的标记,从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W),由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄,基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度,修正上述液滴的拍摄结果,基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。 | ||
搜索关键词: | 排出 装置 条件 修正 方法 | ||
【主权项】:
一种液滴排出装置,其用于使搭载有工件的工件台相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动,从所述液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到所述工件上进行描绘,所述液滴排出装置的特征在于,包括:在与所述主扫描方向垂直的方向排列有拍摄元件的线传感器;和对所述液滴排出喷嘴、所述工件台和所述线传感器进行控制的控制部,在所述工件台或所述工件预先形成有规定大小的标记,所述控制部使得从所述液滴排出喷嘴向所述工件台上的所述工件进行所述液滴的检查排出,使所述线传感器进行所述工件上的被检查排出的液滴和所述标记的拍摄,基于所拍摄的所述标记在所述主扫描方向上的长度,修正所述液滴的拍摄结果,基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自所述液滴排出喷嘴的排出条件。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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