[发明专利]液滴排出装置和液滴排出条件修正方法有效
申请号: | 201710723809.0 | 申请日: | 2017-08-22 |
公开(公告)号: | CN107768278B | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 林辉幸;大岛澄美;岛村明典 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B41J29/393;B41J2/07 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排出 装置 条件 修正 方法 | ||
1.一种液滴排出装置,其用于使搭载有工件的工件台相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动,从所述液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到所述工件上进行描绘,所述液滴排出装置的特征在于,包括:
在与所述主扫描方向垂直的方向排列有拍摄元件的线传感器;和
对所述液滴排出喷嘴、所述工件台和所述线传感器进行控制的控制部,
在所述工件台或所述工件预先形成有规定大小的标记,
所述控制部使得从所述液滴排出喷嘴向所述工件台上的所述工件进行所述液滴的检查排出,
使所述线传感器进行所述工件上的被检查排出的液滴和所述标记的拍摄,
基于所拍摄的所述标记在所述主扫描方向上的长度,修正所述液滴的拍摄结果,基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自所述液滴排出喷嘴的排出条件,
从所述主扫描方向的负侧起依次配置所述液滴排出喷嘴、所述线传感器,
所述控制部在所述标记从所述液滴排出喷嘴向所述主扫描方向的正侧移动期间和所述标记从所述主扫描方向的正侧向所述主扫描方向的负侧移动期间,至少各进行一次利用线传感器进行的所述拍摄。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于,
对所述线传感器的所述拍摄元件设置有远心透镜。
3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述控制部进行多次所述液滴从所述液滴排出喷嘴的检查排出。
4.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于,
所述工件的被排出所述液滴的排出面为四边形,
在所述排出面中,沿着所述主扫描方向的正侧的边设置有进行所述液滴的检查排出的检查排出区域,在比该检查排出区域靠所述主扫描方向的负侧的位置设置有描绘区域。
5.一种液滴排出装置的液滴排出方法,其中,所述液滴排出装置用于使搭载有工件的工件台相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动,从所述液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到所述工件上进行描绘,所述液滴排出方法的特征在于,包括:
从所述液滴排出喷嘴向所述工件台上的所述工件进行液滴的检查排出的检查排出步骤,
由在与所述主扫描方向垂直的方向排列有拍摄元件的线传感器,进行所述工件上的被检查排出的液滴和预先设置在所述工件台或所述工件上的规定大小的标记的拍摄的拍摄步骤,
基于所拍摄的所述标记在所述主扫描方向上的长度,修正所述液滴的拍摄结果的拍摄结果修正步骤;和
基于修正后的所述液滴的拍摄结果修正来自所述液滴排出喷嘴的排出条件的排出条件修正步骤,
从所述主扫描方向的负侧起依次配置所述液滴排出喷嘴、所述线传感器,
在所述拍摄步骤中,在所述标记从所述液滴排出喷嘴向所述主扫描方向的正侧移动期间和所述标记从所述主扫描方向的正侧向所述主扫描方向的负侧移动期间,至少各进行一次利用线传感器进行的所述拍摄。
6.如权利要求5所述的液滴排出方法,其特征在于,
对所述线传感器的所述拍摄元件设置有远心透镜。
7.如权利要求5或6所述的液滴排出方法,其特征在于,
在所述检查排出步骤中,进行多次所述液滴从所述液滴排出喷嘴的检查排出。
8.如权利要求5或6所述的液滴排出方法,其特征在于,
所述工件的被排出所述液滴的排出面为四边形,
在所述排出面中,沿着所述主扫描方向的正侧的边设置有进行所述液滴的检查排出的检查排出区域,在比该检查排出区域靠所述主扫描方向的负侧的位置设置有描绘区域,
在所述检查排出步骤中,向所述检查排出区域进行所述液滴的检查排出。
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