[发明专利]一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置

摘要

本发明公开了一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱、以及依次固定于限喷箱内腔中的导液管、限流块和分流箱；所述限流块开设有插槽，所述插槽中活动插设有挡板，所述挡板固定连接有电动推杆；所述分流箱侧壁对应导液孔处开设有分流孔，所述分流箱的内腔底壁固定有分流板，所述分流箱底壁与限喷箱底壁贯通开设有泄流孔，且所述泄流孔设置于分流板和分流孔之间，所述分流箱远离分流孔一侧侧壁与限喷箱侧壁贯通开设有喷液孔。本发明通过限流块内挡板的作用，当处于喷涂两片硅片的中间空隙时间时，使刻蚀液从泄流孔流出，阻止了刻蚀液飞溅到硅片扩散面情况的发生，大大提高硅片刻蚀质量，减小经济损失。

主权项

一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱(1)、以及依次固定于限喷箱(1)内腔中的导液管(2)、限流块(3)和分流箱(4)，其特征在于：所述限喷箱(1)侧壁对应导液管(2)处开设有进液孔(5)，所述限流块(3)开设有插槽(31)，所述插槽(31)内侧壁对应导液管(2)对称开设有导液孔(6)，所述插槽(31)中活动插设有挡板(7)，所述挡板(7)固定连接有电动推杆(8)；所述分流箱(4)侧壁对应导液孔(6)处开设有分流孔(10)，所述分流箱(4)的内腔底壁固定有分流板(9)，所述分流箱(4)底壁与限喷箱(1)底壁贯通开设有泄流孔(11)，且所述泄流孔(11)设置于分流板(9)和分流孔(10)之间；所述分流箱(4)远离分流孔(10)一侧侧壁与限喷箱(1)侧壁贯通开设有喷液孔(12)。