[发明专利]一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置

权利要求书

1.一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，包括限喷箱(1)、以及依次固定于限喷箱(1)内腔中的导液管(2)、限流块(3)和分流箱(4)，其特征在于：

所述限喷箱(1)侧壁对应导液管(2)处开设有进液孔(5)，所述限流块(3)开设有插槽(31)，所述插槽(31)内侧壁对应导液管(2)对称开设有导液孔(6)，所述插槽(31)中活动插设有挡板(7)，所述挡板(7)固定连接有电动推杆(8)；

所述分流箱(4)侧壁对应导液孔(6)处开设有分流孔(10)，所述分流箱(4)的内腔底壁固定有分流板(9)，所述分流箱(4)底壁与限喷箱(1)底壁贯通开设有泄流孔(11)，且所述泄流孔(11)设置于分流板(9)和分流孔(10)之间；

所述分流箱(4)远离分流孔(10)一侧侧壁与限喷箱(1)侧壁贯通开设有喷液孔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，其特征在于：所述挡板(7)外壁套设有密封层。

3.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，其特征在于：所述分流板(9)远离泄流孔(11)一端固定有辅助块(91)。

4.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，其特征在于：所述限喷箱(1)外侧壁对应喷液孔(12)处固定有喷射头(13)，所述喷射头(13)远离喷液孔(12)一端开设有喷射孔(131)。

5.根据权利要求1所述的一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，其特征在于：所述分流板(9)与喷液孔(12)之间活动设置有缓冲板(14)，所述缓冲板(14)下端固定有弹簧(15)。

6.根据权利要求5所述的一种喷涂式刻蚀槽用限喷装置，其特征在于：所述缓冲板(14)侧壁均固定有密封层。