[发明专利]双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪

摘要

本发明公开双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，包括谐振壳体，谐振壳体呈盆形，谐振壳体底面中心向开口侧凹陷，使谐振壳体内形成环形凹槽；环形凹槽由开口侧向封闭侧渐缩，使谐振壳体的纵剖面W形；谐振壳体沿顶部外边缘设有裙边；谐振壳体下方对应设有曲面立体电极，曲面立体电极与谐振壳体之间形成曲面电极间隙；曲面立体电极顶部对应设有柱状电极，柱状电极与裙边之间形成柱状电极间隙；由谐振壳体与裙边共同构成谐振器，本发明采用曲面立体电极和柱状电极共同驱动、检测谐振器的振动，传感陀螺仪的输入输出信号，利用裙边放大谐振器的振动幅度，并进行陀螺仪基频差的调节。

主权项

1.双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，包括谐振壳体，谐振壳体呈盆形，谐振壳体底面中心向开口侧凹陷，使谐振壳体内形成环形凹槽；环形凹槽由开口侧向封闭侧渐缩，使谐振壳体的纵剖面W形；谐振壳体沿顶部外边缘设有裙边；谐振壳体下方对应设有曲面立体电极，曲面立体电极包含底托、支撑电极以及一组功能电极，支撑电极连接在底托上，底托顶部与谐振壳体中心顶部连接，功能电极间隔设于支撑电极之间、且与支撑电极及底托通过隔离槽相互隔离；曲面立体电极呈圆周分布、且顶部形状与谐振壳体外表面相适应；曲面立体电极与谐振壳体之间形成曲面电极间隙；所有支撑电极与功能电极的顶面均对应设有柱状电极，柱状电极与支撑电极及功能电极之间通过第一绝缘层隔离；柱状电极与裙边之间形成柱状电极间隙；曲面立体电极外周设有密封环，密封环与曲面立体电极之间设有绝缘间隙环；密封环顶面设有对柱状电极密封的上密封环，上密封环与柱状电极之间设有上绝缘间隙环；密封环与上密封环之间通过第二绝缘层隔离；所述陀螺仪还包括盖帽与封底，盖帽设有一组与柱状电极相对应的盖帽引线孔，柱状电极顶面通过盖帽金属焊盘焊接盖帽引线从盖帽引线孔穿出；封底设有一组与支撑电极及功能电极相对应的封底引线孔，支撑电极及功能电极底面通过封底金属焊盘焊接封底引线从封底引线孔穿出。