[发明专利]双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪

权利要求书

1.双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，包括谐振壳体，谐振壳体呈盆形，谐振壳体底面中心向开口侧凹陷，使谐振壳体内形成环形凹槽；环形凹槽由开口侧向封闭侧渐缩，使谐振壳体的纵剖面W形；谐振壳体沿顶部外边缘设有裙边；

谐振壳体下方对应设有曲面立体电极，曲面立体电极包含底托、支撑电极以及一组功能电极，支撑电极连接在底托上，底托顶部与谐振壳体中心顶部连接，

功能电极间隔设于支撑电极之间、且与支撑电极及底托通过隔离槽相互隔离；曲面立体电极呈圆周分布、且顶部形状与谐振壳体外表面相适应；曲面立体电极与谐振壳体之间形成曲面电极间隙；

所有支撑电极与功能电极的顶面均对应设有柱状电极，柱状电极与支撑电极及功能电极之间通过第一绝缘层隔离；柱状电极与裙边之间形成柱状电极间隙；

曲面立体电极外周设有密封环，密封环与曲面立体电极之间设有绝缘间隙环；密封环顶面设有对柱状电极密封的上密封环，上密封环与柱状电极之间设有上绝缘间隙环；密封环与上密封环之间通过第二绝缘层隔离；

所述陀螺仪还包括盖帽与封底，盖帽设有一组与柱状电极相对应的盖帽引线孔，柱状电极顶面通过盖帽金属焊盘焊接盖帽引线从盖帽引线孔穿出；

封底设有一组与支撑电极及功能电极相对应的封底引线孔，支撑电极及功能电极底面通过封底金属焊盘焊接封底引线从封底引线孔穿出。

2.根据权利要求1所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述底托的斜坡与谐振壳体之间设有起辅助支撑作用的支撑层。

3.根据权利要求1或2所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述盖帽的内表面设有吸气剂层。

4.根据权利要求1或2所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，陀螺仪的谐振器由剖面成W形的谐振壳体与裙边一起组成，W形的谐振壳体与曲面立体电极具有相同的曲率，曲面立体电极深入到谐振腔内与W形的谐振壳体形成曲面电极间隙，W形的谐振壳体的上边沿沿着水平方向向四周同步延伸形成环状的裙边，裙边与柱状电极之间形成柱状电极间隙。

5.根据权利要求1或2所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述盖帽引线孔呈由上至下渐缩的圆锥台形，封底引线孔呈由上至下渐扩的圆锥台形。

6.根据权利要求1或2所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述谐振壳体的口径为0.3～10mm，裙边的宽度为2～2000μm，谐振壳体与裙边的厚度为0.5～1000μm。

7.根据权利要求1所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述曲面电极间隙为0.2～500μm，所述柱状电极间隙为0.2～500μm。

8.根据权利要求4所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述盖帽与封底均为厚度300μm的玻璃材质，盖帽引线孔的上孔孔径400μm、下孔孔径200μm；封底引线孔的上孔孔径200μm、下孔孔径400μm。

9.根据权利要求8所述的双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪，其特征在于，所述盖帽引线孔的下孔边缘距离相对应柱状电极顶面边缘大于5μm；封底引线孔的上孔边缘距离相对应支撑电极及功能电极底面边缘大于5μm。