[发明专利]200kg以上大尺寸蓝宝石单晶炉的热场结构

摘要

本发明提供了一种200kg以上大尺寸蓝宝石单晶炉的热场结构，该结构整体由上部保温结构、底部保温结构、侧面保温结构及加热体构成，上部保温结构是由圆形钼隔热屏和氧化锆隔热陶瓷组成。本发明针对大尺寸蓝宝石单晶生长过程中所面临的主要问题，在原有SAPMAC法蓝宝石单晶热场结构基础上进行改良设计，侧面保温采用多层阶梯结构，结合倒锥台鸟笼状加热体，一方面有利于形成更均匀的轴向温度梯度，使生长速度更加均匀，避免在晶体内引入过多的缺陷。另一方面有效提高了大尺寸蓝宝石单晶放肩阶段的稳定性，保证了热场顶部温度分布均匀合理，避免晶体在粘埚，减小晶体的内应力。

主权项

一种200kg以上大尺寸蓝宝石单晶炉的热场结构，其特征在于该结构整体由上部保温结构、底部保温结构、侧面保温结构及加热体构成，上部保温结构是由圆形钼隔热屏和氧化锆隔热陶瓷组成；侧面保温结构为阶梯式多层保温结构，由内到外依次为底部带圆角的旋压钼桶、钼内胆、多层钼桶结构，封装的氧化锆纤维桶结构及氧化铝空心球层；底部保温结构由上至下依次为氧化锆隔热陶瓷结构、多层钼片隔热屏结构及最底层的氧化铝纤维砖结构，三层结构中心留有与支柱直径相匹配的圆形通孔；加热体结构为由钨棒制成的倒锥台结构。