[发明专利]溶胶制备光学元件的装置及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710685054.X 申请日: 2017-08-11
公开(公告)号: CN107473570A 公开(公告)日: 2017-12-15
发明(设计)人: 郭忠达;牛小玲;李宏;刘卫国;弥谦;阳志强;李世杰;张宏普;刘欢 申请(专利权)人: 西安工业大学
主分类号: C03B19/12 分类号: C03B19/12
代理公司: 西安新思维专利商标事务所有限公司61114 代理人: 黄秦芳
地址: 710032 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种溶胶制备光学元件的装置及其制备方法,该装置包括溶胶准备装置、溶胶混合仓、溶胶搅拌器、高压气体发生器、激光照射装置、基片载台和计算机控制系统;原料准备装置与原料混合仓连通,原料搅拌器设置于原料混合仓中以进一步搅拌混合后的溶胶原料,高压气体发生器将混合后的溶胶原料通过其末端设置的喷嘴喷射至基片载台上方设置的基片上,基片上方正对设置激光照射装置。本发明的方法直接由溶胶制备光学元件,根据光学元件的不同种类完成溶胶原料配液混合、基片表面溶胶层覆膜和溶胶层激光烧结,进而完成元件制备。通过这种装置和方法制备的光学元件的形状大小可控,极大的节约了光学元件的制备时间、提高了光学元件的质量和精度。
搜索关键词: 溶胶 制备 光学 元件 装置 及其 方法
【主权项】:
一种溶胶制备光学元件的装置,其特征在于,包括溶胶准备装置、溶胶混合仓(4)、溶胶搅拌器(5)、高压气体发生器(6)、激光照射装置、基片载台和计算机控制系统(12);所述的原料准备装置与原料混合仓(4)连通,原料搅拌器(5)设置于原料混合仓(4)中以进一步搅拌混合后的溶胶原料,所述的高压气体发生器(6)与原料混合仓(4)的出料口连接,高压气体发生器(6)将混合后的溶胶原料通过其末端设置的喷嘴(7)喷射至基片载台上方;所述的基片载台上设置基片(8),基片(8)上方正对设置激光照射装置;所述的溶胶准备装置、溶胶搅拌器(5)、高压气体发生器(6)、基片载台和激光照射装置均与计算机控制系统(12)连接。
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