[发明专利]类金刚石薄膜和镜片的制备方法

摘要

本发明涉及新材料技术领域，尤其是一种镜片，其制备步骤包括：提供一透明基底；利用微波等离子体化学气相沉积方法，在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体，控制温度为400℃、微波功率为1.5kw～2.5kw,气压20～30mbar，在所述透明基底下表面形成亲水性类金刚石薄膜；利用微波等离子体化学气相沉积方法，在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体，控制温度为400℃、微波功率为3kw～4kw,气压35～45mbar，在所述透明基底上表面形成疏水性类金刚石薄膜。本发明通过控制反应条件，获得亲水性/疏水性类金刚石薄膜，并将两种类金刚石薄膜应用于镜片制备中，具有很好的应用。

主权项

1.一种镜片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：提供一透明基底；利用微波等离子体化学气相沉积方法，在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体，选用频率为915MHz的固态微波源、温度为400℃、微波功率为1.5kW ～2.5kW ,气压20～30mbar，在所述透明基底下表面形成亲水性类金刚石薄膜；利用微波等离子体化学气相沉积方法，在反应腔中通入甲烷、氢气和氧气的混合气体，选用频率为915MHz的固态微波源、温度为400℃、微波功率为3kW ～4kW ,气压35～45mbar，在所述透明基底上表面形成疏水性类金刚石薄膜；其中，所述制备方法还包括在所述透明基底的所述下表面、所述上表面分别形成有第一结合层、第二结合层，所述亲水性类金刚石薄膜、所述疏水性类金刚石薄膜分别形成在所述第一结合层、所述第二结合层上。