[发明专利]处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置

摘要

本发明提供处理液生成装置和使用该处理液生成装置的基板处理装置，能够提高所生成的处理液的浓度的可靠性。该处理液生成装置生成进行了浓度调整的处理液，具有：处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液路，其使处理液流入处理液调整部；第二处理液路，其使处理液流入处理液调整部；第一浓度计，其对作为流过第一处理液路的所述处理液的浓度的、处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由第一浓度计进行浓度测定的所述浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第一阀机构，其进行第一处理液路的开闭；以及第二阀机构，其进行第二处理液路的开闭。

主权项

一种处理液生成装置，其生成根据浓度计的测定浓度进行了浓度调整的处理液，其中，该处理液生成装置具有：处理液调整部，其对所述处理液的浓度进行调整；第一处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第二处理液路，其使处理液流入所述处理液调整部；第一浓度计，其对作为流过所述第一处理液路的所述处理液的浓度的、所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第二浓度计，其对作为流过所述第二处理液路的所述处理液的浓度的、应由所述第一浓度计进行浓度测定的所述处理液调整部的浓度调整所涉及的成分的浓度进行测定；第一阀机构，其进行所述第一处理液路的开闭；以及第二阀机构，其进行所述第二处理液路的开闭。