[发明专利]一种叠层背钝化太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明提供了一种叠层背钝化太阳能电池及其制备方法，涉及太阳能电池技术领域。一种叠层背钝化太阳能电池，包括硅晶片、背电极、叠层TMO膜，第一层TMO薄膜覆盖于硅晶片靠近背电极的一侧表面，第二层TMO薄膜覆盖第一层TMO薄膜远离硅晶片的一侧表面的至少一部分，背电极覆盖于第二层TMO薄膜以及未被第二层TMO薄膜覆盖的第一层TMO薄膜的表面。该结构具有优异的性能，降低生产成本，简化生产工艺，可大规模生产。一种上述叠层背钝化太阳能电池的制备方法，包括采用热蒸发方法沉积形成第一层TMO薄膜及第二层TMO薄膜。该方法可通过掩膜板实现，不需要激光开模，降低生产成本，简化生产工艺。

主权项

一种叠层背钝化太阳能电池，其特征在于，包括硅晶片、背电极、叠层TMO膜，所述叠层TMO膜包括第一层TMO薄膜与第二层TMO薄膜，所述第一层TMO薄膜覆盖于所述硅晶片靠近所述背电极的一侧表面，所述第二层TMO薄膜覆盖所述第一层TMO薄膜远离所述硅晶片的一侧表面的至少一部分，所述背电极覆盖于所述第二层TMO薄膜远离所述第一层TMO薄膜的一侧表面以及未被所述第二层TMO薄膜覆盖的所述第一层TMO薄膜的表面。