[发明专利]基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理装置，包括：多个夹具构件(13)，其通过将基板夹持为水平而将上述基板保持为水平的姿势；处理液供给单元，向基板(W)供给处理液；以及热源，配置于基板的上方。夹具构件(13)包括：导电性构件(41)，至少一部分由含有碳的材料形成，包括：底座部(46)，配置在比基板(W)靠近下方的位置；以及接触部(47)，从上述底座部(46)的上表面(46a)向上方突出，按压于基板(W)的外周部；以及夹具盖(42)，安装于导电性构件(41)，俯视时未覆盖底座部(46)的至少一部分而覆盖接触部(47)。

主权项

一种基板处理装置，其中，包括：多个夹具构件，通过将基板夹持为水平而将上述基板保持为水平的姿势；处理液供给单元，向由多个上述夹具构件保持的上述基板供给处理液；热源，配置于由多个上述夹具构件保持的上述基板的上方；夹具开闭机构，在关闭状态与打开状态之间对多个上述夹具构件进行切换，上述关闭状态是多个上述夹具构件按压于上述基板的外周部的状态，上述打开状态是解除多个上述夹具构件对上述基板的按压的状态；多个上述夹具构件中的至少一个包括：导电性构件，至少一部分由含有碳的材料形成，包括：底座部，配置在比上述基板靠近下方的位置；以及接触部，从上述底座部的上表面向上方突出，按压于上述基板的外周部；以及夹具盖，安装于上述导电性构件，俯视时，上述接触部被该夹具盖覆盖，而上述底座部的至少一部分未被该夹具盖覆盖。