[发明专利]扫描脉冲退火装置及方法

摘要

一种用于热处理基板的装置、系统及方法。脉冲电磁能量源能以至少100Hz的频率产生脉冲。可移动基板支撑件可相对于电磁能量脉冲移动基板。光学系统可设置在能量源和可移动基板支撑件之间，且可包含将电磁能量脉冲塑形成矩形分布的部件。控制器可命令所述电磁能量源以选定的脉冲频率产生能量脉冲。所述控制器也可命令所述可移动基板支撑件以选定的速度在平行于所述矩形分布的选定的边缘的方向上进行扫描，使得沿着平行于所述选定的边缘的直线上的每个点接收预定数量的电磁能量脉冲。

主权项

一种用于热处理基板的装置，所述装置包括：能量输入模块，所述能量输入模块具有多个脉冲激光源并产生多个激光脉冲；脉冲控制模块，所述脉冲控制模块具有一个或多个脉冲控制器，所述一个或多个脉冲控制器将所述多个脉冲激光源的单个脉冲组合为组合激光脉冲；脉冲塑形模块，所述脉冲塑形模块具有一个或多个脉冲塑形器，所述脉冲塑形器调整所述组合激光脉冲的时间分布；均化器，所述均化器调整所述组合激光脉冲的空间能量，并将所述组合激光脉冲重叠成为均匀能量场；孔构件，所述孔构件从所述均匀能量场去除剩余的边缘不均匀性；对齐模块，所述对齐模块允许所述均匀能量场与在基板支撑件上的位置对齐；以及控制器，所述控制器耦合所述能量输入模块以控制所述激光脉冲的产生。