[发明专利]磨削装置有效
| 申请号: | 201710590252.8 | 申请日: | 2017-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN107639541B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
| 发明(设计)人: | 松原壮一 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
| 主分类号: | B24B49/16 | 分类号: | B24B49/16;H01L21/304;B24B37/34;B24B49/10 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 提供磨削装置,即使所磨削的板状工件的种类变更也磨削直到达到规定厚度。磨削装置(1)具有:磨削单元(10),其利用磨具旋转单元(11)使磨削磨轮(15)旋转而对板状工件(W)进行磨削;和判断单元(30),其对电极(We)在被磨削面(Wa)露出的情况进行判断,判断单元具有:存储部(31),其对没有利用磨削磨具(16)对电极进行磨削时负载电流值检测单元(112)所检测的负载电流值进行存储;设定部(32),其设定对负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极在被磨削面露出时的基准负载电流值;以及判断部(33),其在磨削中的负载电流值达到了基准负载电流值时判断为电极在被磨削面露出,根据板状工件及磨削磨轮的种类设定基准负载电流值,可靠地对板状工件进行磨削直到电极在被磨削面露出。 | ||
| 搜索关键词: | 磨削 装置 | ||
【主权项】:
一种磨削装置,其具有:保持工作台,其具有对内部具有多个电极的板状工件进行保持的保持面;保持工作台旋转单元,其使该保持工作台以该保持工作台的中心为轴进行旋转;磨削单元,其将呈环状配设了磨削磨具的磨削磨轮安装在旋转轴上,并具有使该磨削磨轮以该旋转轴为中心进行旋转的磨具旋转单元,该磨削单元利用该磨具旋转单元使该磨削磨轮进行旋转,对该保持工作台所保持的板状工件进行磨削;磨削进给单元,其对该磨削单元在相对于该保持工作台接近和远离的方向上进行磨削进给;以及判断单元,其对该电极在由该磨削单元进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断,其中,该磨具旋转单元具有:电动机,其使该旋转轴旋转;以及负载电流值检测单元,其对该电动机的负载电流值进行检测,该判断单元具有:存储部,其对没有利用该磨削磨具对板状工件的内部的该电极进行磨削时由该负载电流值检测单元检测出的负载电流值进行存储;设定部,其设定对该存储部所存储的该负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为该电极在板状工件的被磨削面露出时的基准负载电流值;以及判断部,其在磨削中的该负载电流值达到了该设定部所设定的该基准负载电流值时判断为该电极在被磨削面露出。
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