[发明专利]磨削装置有效
| 申请号: | 201710590252.8 | 申请日: | 2017-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN107639541B | 公开(公告)日: | 2021-05-25 |
| 发明(设计)人: | 松原壮一 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
| 主分类号: | B24B49/16 | 分类号: | B24B49/16;H01L21/304;B24B37/34;B24B49/10 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;乔婉 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 磨削 装置 | ||
提供磨削装置,即使所磨削的板状工件的种类变更也磨削直到达到规定厚度。磨削装置(1)具有:磨削单元(10),其利用磨具旋转单元(11)使磨削磨轮(15)旋转而对板状工件(W)进行磨削;和判断单元(30),其对电极(We)在被磨削面(Wa)露出的情况进行判断,判断单元具有:存储部(31),其对没有利用磨削磨具(16)对电极进行磨削时负载电流值检测单元(112)所检测的负载电流值进行存储;设定部(32),其设定对负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为电极在被磨削面露出时的基准负载电流值;以及判断部(33),其在磨削中的负载电流值达到了基准负载电流值时判断为电极在被磨削面露出,根据板状工件及磨削磨轮的种类设定基准负载电流值,可靠地对板状工件进行磨削直到电极在被磨削面露出。
技术领域
本发明涉及对板状工件等被加工物进行磨削的磨削装置。
背景技术
对板状工件进行磨削的加工装置至少具有:保持工作台,其对板状工件进行保持;磨削单元,其具有磨削磨轮,在该磨削磨轮上呈环状固定安装有磨削磨具;电动机,其使磨削磨轮进行旋转;以及加工进给单元,其对磨削单元在相对于保持在保持工作台上的板状工件接近和远离的方向上进行加工进给,加工装置一边利用磨削磨具对板状工件进行按压一边进行磨削。
当在加工装置中对内部具有电极的板状工件进行磨削而使电极在被磨削面露出的情况下,当在磨削加工中磨削磨具到达电极时,使磨削磨轮旋转的电动机的负载电流值会发生变化。因此,存在如下的磨削装置:在加工单元中具有负载电流值检测单元,通过该负载电流值检测单元来始终监视磨削板状工件时产生的负载电流值的变化并对加工进给单元进行控制而将板状工件磨削至希望的厚度(例如,参照下述的专利文献1和2)。
专利文献1:日本特开2014-008538号公报
专利文献2:日本特开2013-056392号公报
然而,在上述那样的磨削装置中,由于在负载电流值超过了预先设定的基准值时进行使磨削结束的控制,所以根据作为磨削对象的板状工件的种类,有时在刚刚开始了磨削之后负载电流值便达到基准值。即,存在如下问题:当想要保持在磨削装置中设定了对变更种类之前的板状工件进行磨削时的基准值的状态而对不同种类的板状工件进行磨削时,即使是没有达到规定的厚度的状态,也会使板状工件的磨削结束。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的,其目的在于提供一种磨削装置,即使作为磨削对象的板状工件的种类变更也能够进行磨削直到达到规定的厚度。
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