[发明专利]磨削装置

权利要求书

1.一种磨削装置，其具有：

保持工作台，其具有对内部具有多个电极的板状工件进行保持的保持面；

保持工作台旋转单元，其使该保持工作台以该保持工作台的中心为轴进行旋转；

磨削单元，其将呈环状配设了磨削磨具的磨削磨轮安装在旋转轴上，并具有使该磨削磨轮以该旋转轴为中心进行旋转的磨具旋转单元，该磨削单元利用该磨具旋转单元使该磨削磨轮进行旋转，对该保持工作台所保持的板状工件进行磨削；

磨削进给单元，其对该磨削单元在相对于该保持工作台接近和远离的方向上进行磨削进给；以及

判断单元，其对该电极在由该磨削单元进行磨削的板状工件的被磨削面露出的情况进行判断，

其中，

该磨削装置还具有厚度测量单元，该厚度测量单元对由该磨削单元进行磨削的板状工件的厚度进行测量，

该磨具旋转单元具有：

电动机，其使该旋转轴旋转；以及

负载电流值检测单元，其对该电动机的负载电流值进行检测，

该判断单元具有：

存储部，其对板状工件的内部的该电极没有被该磨削磨具进行磨削时由该负载电流值检测单元检测出的负载电流值进行存储；

设定部，其设定对该存储部所存储的该负载电流值乘以预先设定的系数而得的值作为该电极在板状工件的被磨削面露出时的基准负载电流值；以及

判断部，其在磨削中的该负载电流值达到了该设定部所设定的该基准负载电流值时判断为该电极在被磨削面露出，

该厚度测量单元具有：

第1测量器，其使第1测头在该保持工作台所保持的板状工件的外侧接触与该保持面相同的面而对该保持面的高度进行测量；

第2测量器，其使第2测头接触该保持工作台所保持的板状工件的上表面而对该板状工件的上表面的高度进行测量；以及

计算部，其计算该第1测量器的值与该第2测量器的值的差作为板状工件的厚度，

事先设定该电极的高度以上的值作为设定厚度，一边利用该厚度测量单元对板状工件的厚度进行测量一边通过该磨削单元对板状工件进行磨削直到达到该设定厚度，将磨削中由该负载电流值检测单元检测出的该负载电流值存储在该存储部中，当该负载电流值检测单元检测出的电动机的负载电流值达到该基准负载电流值时，结束该板状工件的磨削。

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

该磨削装置具有根据该磨削磨轮的种类与板状工件所具有的多个电极的密度的相关关系而对系数进行了设定的相关关系数据，

该磨削装置具有选择单元，该选择单元根据安装在该旋转轴上的该磨削磨轮的种类和板状工件的电极的密度而参照该相关关系数据对该系数进行选择。