[发明专利]对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201710548743.6 | 申请日： | 2017-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN107587103B | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 小林康信 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 朱龙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法，在检测工序中不能检测对准标记的情况下，使设有对准标记的基体自动地移动，由此能够不使装置停止而再次尝试对准标记的检测。该对准标记的检测方法包括：用于使用光学机构而检测基体上的对准标记的第一检测工序；在所述第一检测工序之后，基于该第一检测工序的判定结果而使所述基体移动的第一移动工序；以及用于使用所述光学机构而再次检测所述对准标记的第二检测工序。 | ||
| 搜索关键词： | 对准 标记 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种对准标记的检测方法，其特征在于，所述对准标记的检测方法包括：用于使用光学机构而检测基体上的对准标记的第一检测工序；在所述第一检测工序之后，基于该第一检测工序的判定结果而使所述基体移动的第一移动工序；以及用于使用所述光学机构而再次检测所述对准标记的第二检测工序。
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