[发明专利]对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法

说明书

本发明提供一种对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法，在检测工序中不能检测对准标记的情况下，使设有对准标记的基体自动地移动，由此能够不使装置停止而再次尝试对准标记的检测。该对准标记的检测方法包括：用于使用光学机构而检测基体上的对准标记的第一检测工序；在所述第一检测工序之后，基于该第一检测工序的判定结果而使所述基体移动的第一移动工序；以及用于使用所述光学机构而再次检测所述对准标记的第二检测工序。

技术领域

本发明涉及对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法。

背景技术

在使用掩模在基板上进行图案成膜的情况下，如专利文献1公开那样，需要掩模与基板的对准处理。因此，在将掩模及基板向处理室内的掩模台及基板台上载置时，以使掩模及基板的对准标记进入拍摄对准标记的相机的摄像范围内的方式进行载置。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2004-303559号公报

发明内容

【发明要解决的课题】

然而，偶尔存在如下的情况：由于对准标记未进入相机的摄像范围内或者掩模的对准标记与基板的对准标记重叠，从而未正确地检测对准标记。

在未检测到对准标记的情况下，出错而装置停止，需要人的确认作业。

本发明鉴于上述的现状而作出，提供一种对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法，在检测工序中不能检测对准标记的情况下，使设有对准标记的基体自动地移动，由此能够不使装置停止而再次尝试对准标记的检测。

【用于解决课题的方案】

一种对准标记的检测方法，其特征在于，所述对准标记的检测方法包括：用于使用光学机构而检测基体上的对准标记的第一检测工序；在所述第一检测工序之后，基于该第一检测工序的判定结果而使所述基体移动的第一移动工序；以及用于使用所述光学机构而再次检测所述对准标记的第二检测工序。

【发明效果】

本发明由于如上所述那样构成，因此成为如下的对准标记的检测方法、对准方法及蒸镀方法：在检测工序中不能检测对准标记的情况下，使设有对准标记的基体自动地移动，由此能够不使装置停止而再次尝试对准标记的检测。

附图说明

图1是本实施例的主要部分的概略说明立体图。

图2是表示本实施例的处理次序的流程图。

图3是表示本实施例的处理次序的流程图。

图4是另一例1的概略说明俯视图，图4的(a)表示掩模，图4的(b)表示基板。

图5是对准标记重合的状态的概略说明俯视图。

图6是表示另一例1的处理次序的流程图。

图7是表示另一例2的处理次序的流程图。

图8是表示基体与对象物的对准的处理次序的流程图。

具体实施方式

基于附图示出本发明的作用，简单地说明考虑为优选的本发明的实施方式。

如图8所图示，本发明是在基体与对象物的对准中、在对准动作之前检测基体上的对准标记时的发明，在第一检测工序中判定为检测错误的情况下，进行第一移动工序，接下来，进行用于再次检测对准标记的第二检测工序。

因此，在由于未检测到对准标记而判定为检测错误的情况下，不用使装置停止并进行人的确认作业，通过自动地使基体移动而能够使对准标记位于光学机构的检测范围内。