[发明专利]基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关有效
| 申请号： | 201710548163.7 | 申请日： | 2017-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN107230585B | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 尤政;董恺琛;吴军桥;姚杰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，包括：基座和可动梁，所述基座上设有固定电极；所述可动梁连接在所述基座上且所述可动梁上设有与所述固定电极位置对应的活动电极，其中，至少部分所述可动梁由二氧化钒材料制成以在所述二氧化钒材料相变时发生形变，以使所述活动电极与所述固定电极连通或断开。根据本发明实施例的微机械开关，可以利用二氧化钒材料的相变过程发生形变使活动电极与固定电极连通或断开，来改变微机械开关的通断状态，不仅能够保证较长的工作寿命、较大的驱动力和较好的机械稳定性，而且具有结构简单紧凑、机械性能好、应用范围广等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化 相变 驱动 式微 机械 开关 | ||
【主权项】：
1.一种基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，包括：基座，所述基座上设有固定电极；可动梁，所述可动梁连接在所述基座上且所述可动梁上设有与所述固定电极位置对应的活动电极，其中，至少部分所述可动梁由二氧化钒材料制成以在所述二氧化钒材料相变时发生形变，以使所述活动电极与所述固定电极连通或断开，所述固定电极设于所述基座的邻近所述可动梁的表面上且凸出于所述基座的表面，所述活动电极设于所述可动梁的邻近所述基座的表面上且凸出于所述可动梁的表面，所述固定电极由一层薄膜或多层上下叠置的薄膜组成，其中远离所述基座的薄膜为导体材料薄膜，所述活动电极由一层薄膜或多层上下叠置的薄膜组成，其中远离所述可动梁的薄膜为导体材料薄膜，所述可动梁包括多层叠置的薄膜，其中，至少一层所述薄膜为二氧化钒材料薄膜。
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