[发明专利]基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关

权利要求书

1.一种基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，包括：

基座，所述基座上设有固定电极；

可动梁，所述可动梁连接在所述基座上且所述可动梁上设有与所述固定电极位置对应的活动电极，其中，至少部分所述可动梁由二氧化钒材料制成以在所述二氧化钒材料相变时发生形变，以使所述活动电极与所述固定电极连通或断开，

所述固定电极设于所述基座的邻近所述可动梁的表面上且凸出于所述基座的表面，所述活动电极设于所述可动梁的邻近所述基座的表面上且凸出于所述可动梁的表面，

所述固定电极由一层薄膜或多层上下叠置的薄膜组成，其中远离所述基座的薄膜为导体材料薄膜，所述活动电极由一层薄膜或多层上下叠置的薄膜组成，其中远离所述可动梁的薄膜为导体材料薄膜，

所述可动梁包括多层叠置的薄膜，其中，至少一层所述薄膜为二氧化钒材料薄膜。

2.根据权利要求1所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述二氧化钒材料薄膜为二氧化钒薄膜或掺杂有铬、钨、镓、铝、铁、钛、铌、钼、铼、氟、氢中的至少一种元素的二氧化钒材料薄膜。

3.根据权利要求1所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述可动梁的端部与所述基座相连，所述活动电极位于所述可动梁的位移最大点处。

4.根据权利要求3所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述可动梁的端部通过连接件连接在所述基座上。

5.根据权利要求3所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述可动梁被构造为单固支点的悬臂梁结构、多固支点的悬臂梁结构或多端固支的桥膜结构。

6.根据权利要求1所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述固定电极为并列设置的多个，所述活动电极设在所述可动梁上以连通或断开多个所述固定电极。

7.根据权利要求1所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述基座包括间隔设置的第一基座和第二基座，所述第一基座的邻近所述第二基座的表面上设有所述固定电极，所述可动梁设在所述第一基座和所述第二基座之间且与所述第二基座相连，所述可动梁的邻近所述第一基座的表面上设有所述活动电极。

8.根据权利要求1所述的基于二氧化钒的相变驱动式微机械开关，其特征在于，所述基座包括间隔设置的第一基座和第二基座，所述第一基座的邻近所述第二基座的表面上设有第一固定电极，所述第二基座的邻近所述第一基座的表面上设有第二固定电极，所述可动梁设在所述第一基座和所述第二基座之间且与所述第一基座和所述第二基座中的其中一个相连，所述可动梁的邻近所述第一基座的表面上设有第一活动电极，所述可动梁的邻近所述第二基座的表面上设有第二活动电极，以使所述第一固定电极与第一活动电极和第二固定电极与第二活动电极中的其中一组连通且另一组断开。