[发明专利]激光结晶设备及其驱动方法有效
| 申请号： | 201710541686.9 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107579021B9 | 公开（公告）日： | 2023-10-17 |
| 发明（设计）人： | 徐宗吾;李童敏;姜美在;全祥皓 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/268;H01L21/77 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘灿强;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种激光结晶设备及其驱动方法。所述激光结晶设备包括：激光产生模块，被构造成产生激光束；光学模块，被构造成引导激光束；退火室，包括其上设置有目标基底的台，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜，台沿X轴方向和Y轴方向是可移动的；以及倾斜折射透镜，被构造成将具有矩形形状的横截面区的激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束并且被构造成与台垂直地照射所述倾斜的激光束。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 结晶 设备 及其 驱动 方法 | ||
【主权项】：
一种激光结晶设备，所述激光结晶设备包括：激光产生模块，被构造成产生激光束；光学模块，被构造成引导所述激光束；退火室，包括台，在台上设置有目标基底，所述目标基底包括形成在其中的非晶薄膜，所述台沿X轴方向和Y轴方向是可移动的；以及倾斜折射透镜，被构造成将具有矩形形状的横截面区的所述激光束转换成具有非矩形的平行四边形形状的横截面区的倾斜的激光束并且被构造成与所述台垂直地照射所述倾斜的激光束。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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