[发明专利]一种鳍线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波快速调制器有效
| 申请号： | 201710541618.2 | 申请日： | 2017-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN107102453B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张雅鑫;张亭;孙翰;梁士雄;杨梓强 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;H01P1/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邹裕蓉 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种鳍线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波快速调制器，属于电磁功能器件技术领域。本发明是通过将太赫兹波段鳍线‑波导传输系统与人工电磁谐振结构单元、高电子迁移率晶体管HEMT相结合而实现的。本发明通过电控HEMT的电磁特性实现对人工电磁谐振单元结构中电磁谐振模式的控制，从而实现对鳍线‑波导中传播的太赫兹波幅度、相位进行调制。本发明可实现95％以上的调制深度，同时对太赫兹波的插损可小于‑1.5dB以内。本发明可通过运用微细加工技术实现，制备工艺成熟可靠。本发明实现了半导体材料与人工微结构阵列、太赫兹传输线相结合的调制器件，在太赫兹无线通信、太赫兹波谱技术、太赫兹安检成像等领域具有重要的实际应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 鳍线 加载 hemt 嵌套 结构 赫兹 快速 调制器 | ||
【主权项】：
1.一种鳍线加载HEMT嵌套结构的太赫兹波快速调制器，其特征在于，包括输入波导(1)、波导‑鳍线过渡部分(2)、鳍线调制部分(3)、鳍线‑波导过渡部分(4)、输出波导(5)和外部滤波馈电结构(6)；所述鳍线调制部分(3)包括鳍线中间传输区和调制单元阵列；所述鳍线中间传输区包括接地鳍(7)和绝缘鳍(8)；所述调制单元阵列中的每个调制单元包括人工电磁媒质与HEMT；所述人工电磁媒质包括栅极连接线(10)和金属开口谐振环(9)；所述HEMT包括源极(11)、漏极(12)和调制掺杂异质结(13)；所述源极(11)和漏极(12)分别与金属开口谐振环(9)的开口处金属条相连接；所述栅极连接线(10)置于金属开口谐振环(9)开口处的中心位置并与所述绝缘鳍(8)相连接；所述金属开口谐振环(9)通过短金属条与接地鳍(7)相连接；所述外部滤波馈电结构(6)连接所述绝缘鳍(8)；通过控制外部滤波馈电结构(6)的调制电压控制HEMT的通断。
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