[发明专利]用于检查基板上的粘合剂图案的检查设备和方法有效
| 申请号： | 201710537182.X | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN107576276B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 埃里克·兰吉耶;亚历山大·威廉 | 申请（专利权）人： | 诺信公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01P3/68;B05B12/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 沈同全;车文 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于检查基板上的粘合剂图案的检查设备和方法。所述检查设备包括至少一个传感器，所述至少一个传感器具有用于检测所述粘合剂珠粒的图案的热传感器头、用于容纳所述热传感器头的外壳，以及控制器。最初向控制器提供表示所需粘合剂图案的参考数据。将所述所需粘合剂图案的预定公差范围也提供给所述控制器。粘合剂珠粒从喷嘴排出到基板上。然后当所述基板移动时，由所述传感器检测所排出的粘合剂珠粒的图案。从所述控制器处的所述传感器接收表示所检测到的图案的信号。最后，将表示所检测到的粘合剂图案的所述信号与所述所需粘合剂图案的所述公差范围进行比较。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 基板上 粘合剂 图案 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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