[发明专利]用于检查基板上的粘合剂图案的检查设备和方法

权利要求书

1.一种用于检查粘合剂图案的方法，该粘合剂图案在基板上，所述方法包括：

将表示所需粘合剂图案的参考数据提供到控制器中；

为所述控制器中的所需粘合剂图案提供存储的且预定的公差范围；

在所述控制器处从用于排出粘合剂的喷嘴的控制单元接收排出信号；

由所述控制器基于所接收的排出信号来确定所需粘合剂图案；

检测排出信号的变化是否发生或者是否首次检测到排出信号；

在所述控制器检测到排出信号的变化或者首次检测到排出信号的情况下，将所需粘合剂图案的公差范围设置为预定学习范围；

将粘合剂珠粒从所述喷嘴排出到基板上；

借助于传感器布置，当所述基板移动时，检测所述基板上所排出的粘合剂珠粒的图案；

在所述控制器处从所述传感器布置接收表示所检测到的图案的信号；以及

将表示所检测到的粘合剂图案的所述信号与所需粘合剂图案的公差范围进行比较。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：

使用预先存储的值来计算所需粘合剂图案的预定的公差范围。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

使用预先感测的值来计算所述预定的公差范围。

4.根据权利要求1所述的方法，其中检测所排出的粘合剂珠粒的图案包括：

由所述控制器确定由所述传感器布置感测的值的强度或强度变化率；

通过所述控制器将所述强度或强度变化率与存储在所述控制器中的阈值进行比较；以及

当所述强度或强度变化率超过存储在所述控制器中的所述阈值时，由所述控制器确定存在珠粒边缘。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括：

基于所述基板的速度或冷却速率因数来按比例增大或减小所述阈值。

6.根据权利要求1所述的方法，还包括：

通过以下步骤使用所述传感器布置的速度传感器由所述控制器确定所述基板的行进速度和边缘位置：

确定由所述速度传感器感测的值的强度或强度变化率；

将所述强度或强度变化率与所述控制器中的预先存储的阈值进行比较；以及

当所述强度或强度变化率超过所述阈值时，确定存在基板边缘。

7.根据权利要求1所述的方法，其中确定所需粘合剂图案包括：

使用预先存储在所述控制器中的至少一个预定延迟值来计算所需的珠粒开始时间和珠粒结束时间。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述预定延迟值包括：

阀门延迟时间，所述阀门延迟时间限定排出信号和粘合剂开始流出所述喷嘴的时间之间的延迟；

粘合剂滴落时间，所述粘合剂滴落时间限定所述粘合剂离开所述喷嘴和接触所述基板之间的时间；或

所述基板的行进时间，所述基板的所述行进时间限定所述基板从所述喷嘴移动到所述传感器布置所需的时间。

9.根据权利要求1所述的方法，其中检测所述粘合剂珠粒的图案包括检测所述珠粒的宽度。

10.根据权利要求6所述的方法，其中所述公差范围包括宽度公差，所述宽度公差取决于所述基板的行进速度。

11.根据权利要求1所述的方法，还包括：

提供所需粘合剂图案的中心线公差范围；

计算检测到的粘合剂图案的中心线；以及

将计算出的中心线与所述中心线公差范围进行比较。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括计算所述基板的由所述珠粒覆盖的面积。

13.根据权利要求12所述的方法，还包括：

提供由所述珠粒覆盖的所需面积的值；

提供由所述珠粒覆盖的所述面积的数量公差；以及

将所计算出的由所述珠粒覆盖的面积与所述数量公差进行比较。