[发明专利]含有1,10-啡啉化合物的铟电镀组合物和电镀铟的方法有效
| 申请号： | 201710521605.9 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107630239B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | Y·秦;K·弗拉伊斯里克;M·列斐伏尔 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C25D3/54 | 分类号： | C25D3/54 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 含有痕量1,10‑啡啉化合物的铟电镀组合物在金属层上电镀基本上无缺陷的均一和平滑表面形态铟。所述铟电镀组合物可用于在如半导体晶片的各种衬底的金属层上电镀铟金属和用作热界面材料。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 10 化合物 电镀 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种组合物，其包含一或多种铟离子源、含量为0.1ppm至15ppm的一或多种1,10‑啡啉化合物和柠檬酸、其盐或其混合物。
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