[发明专利]一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板

摘要

本发明公开了一种柔性背板的制作方法、液晶显示面板以及OLED显示面板，该制作方法包括：提供一基板；在基板上依次制作缓冲层、有源层、栅极绝缘层；在栅极绝缘层上对应像素区制作栅极，以及对应隔离区制作刻蚀阻挡层；在栅极和刻蚀阻挡层上制作第二绝缘层；在第二绝缘层上采用第一次刻蚀工艺在隔离区制作第一过孔以及在绑定区制作第二过孔；在第二绝缘层上涂覆有机材料，且有机材料填充于第一过孔以及第二过孔中，形成有机填充层；在有机填充层上制作源极和漏极。通过上述方式，本发明一方面能够不增加制程的情况下，在刻蚀中不损坏有源层，另一方面能够提高背板的柔韧性。

主权项

一种柔性背板的制作方法，所述柔性背板包括多个像素区、所述多个像素区之间的隔离区以及绑定区，其特征在于，包括：提供一基板；在所述基板上依次制作缓冲层、有源层、栅极绝缘层；在所述栅极绝缘层上对应所述像素区制作栅极，以及对应所述隔离区制作刻蚀阻挡层；在所述栅极和所述刻蚀阻挡层上制作第二绝缘层；在所述第二绝缘层上采用第一次刻蚀工艺在所述隔离区制作第一过孔以及在所述绑定区制作第二过孔；其中，所述第一过孔的孔底位于所述刻蚀阻挡层，所述第二过孔的孔底位于所述基板；在所述第二绝缘层上涂覆有机材料，且所述有机材料填充于所述第一过孔以及所述第二过孔中，形成有机填充层；在所述有机填充层上制作源极和漏极；其中，所述源极连接所述有源层的源极区域，所述漏极连接所述有源层的漏极区域。